진공에도 사용 가능한 적외선 히터

왜 진공 시스템에서는 뜨거운 공기 대신 적외선 히터를 사용하는가? 반도체 제조 공정에 종사하는 사람이라면 잘 알고 있겠지만, 열이 필요하며, 그 열도 빠르게 공급되어야 합니다. 오랫동안 우리는 강제 공기 순환 방식을 사용해왔지만, 문제점이 있었습니다. 즉, 진공 상태...