Di bilik pengeluaran, kawasan dengan suhu setinggi 0.5°C pada permukaan wafer semasa proses pemanasan bahan photoresist boleh merosakkan kawalan ketebalan garisan pada permukaan wafer tersebut – dan seterusnya menjejaskan kadar pengeluaran produk. Reflektor yang terdapat dalam lampu pengeringan bukan sekadar alat biasa; ia berfungsi untuk membentuk medan haba yang memastikan proses pengeringan berjalan secara konsisten, dari satu sesi ke sesi yang lain.
Kami telah mereka bentuk reflektor ini agar dapat mengekalkan keseragaman suhu sebanyak ±0.1°C, supaya proses pengeringan dapat berjalan dengan tepat mengikut spesifikasi yang ditetapkan.
Apa yang ada di belakang reka bentuk ini? Kami menggunakan reflektor kuarsa berkualiti tinggi, bersama lapisan khas yang disesuaikan untuk gelombang inframerah pendek dan sederhana. Ini membolehkan pengagihan tenaga yang stabil dan konsisten, serta memastikan suhu bahan photoresist tetap terkawal.
Peranti ini sesuai digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100. Ia diperbuat daripada bahan yang menghasilkan gas yang sedikit, dan permukaannya direka agar penghasilan zarah-zarah yang tidak diinginkan diminimumkan. Peranti ini boleh beroperasi 24/7 tanpa sebarang gangguan, dan ia mampu mengekalkan prestasi yang konsisten selama lebih dari 5,000 jam, dengan perubahan intensiti cahaya kurang dari 5%.
Dalam proses litografi, keseragaman suhu merupakan faktor penting untuk mengawal ketepatan dimensi permukaan wafer. Dengan keseragaman suhu sebanyak ±0.1°C, kecacatan pada tepi permukaan wafer dapat dikurangkan, dan distribusi dimensi yang kritikal dapat dipertahankan.
Reka bentuk reflektor yang efisien membolehkan pengurangan kerja-kerja pembaikan, masa proses yang lebih singkat, serta penggunaan tenaga yang lebih rendah, kerana haba dapat difokuskan ke tempat yang diperlukan. Dalam proses pemprosesan bahan photoresist, ini bermakna jumlah wafer yang rosak akan berkurangan, dan kadar pengeluaran produk dapat dikawal dengan lebih baik.
Pemasangan peranti ini bergantung pada orientasi lampu dan arus udara. Reflektor perlu diselaraskan dalam lingkungan 0.5° agar keseragaman suhu dapat dipertahankan; jika tidak, medan haba akan berubah.
Peranti ini sesuai digunakan dengan lampu pengeringan jenis halogen dan NIR yang standard. Namun, kit pemasangan yang diperlukan bergantung pada model lampu tersebut. Selepas pemasangan, perlu dilakukan penyesuaian singkat terhadap masa pemanasan untuk menyeimbangkan semula proses pengeringan.