Mengapa kita beralih daripada penggunaan udara panas kepada pemanas inframerah dalam sistem vakum
Jika anda bekerja dalam bidang pemprosesan semikonduktor, anda pasti tahu betapa pentingnya suhu yang tinggi untuk proses pengeluaran. Namun, cara konvensional menggunakan udara panas mempunyai kelemahan yang ketara: udara panas tidak dapat dialirkan dalam keadaan vakum. Oleh itu, kita beralih kepada pemanas inframerah yang sesuai digunakan dalam keadaan vakum. Ini bukan sekadar cara lain untuk memanaskan benda-benda tersebut; ia juga membantu mengurangkan masa yang diperlukan untuk proses pengeluaran.
Waktu sentiasa berlalu
Penggunaan udara panas memerlukan masa yang lama. Udara perlu dipanaskan terlebih dahulu, kemudian dinding bilik tersebut juga perlu dipanaskan, sebelum wafer akhirnya menjadi panas. Proses ini memerlukan masa menunggu yang lama. Sebaliknya, pemanas inframerah menggunakan foton yang bergerak pada kelajuan cahaya. Foton-foton ini akan mengenai permukaan yang ingin dipanaskan, dan dengan cara ini suhu yang diinginkan dapat dicapai dengan cepat. Masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer dapat dikurangkan dari beberapa minit menjadi hanya beberapa saat sahaja. Dalam situasi di mana kilang beroperasi 24/7, penjimatan masa ini sangat penting untuk meningkatkan kapasiti pengeluaran.
Ia bukanlah sesuatu yang mudah
Anda tidak boleh hanya menggunakan lampu inframerah biasa dan memasukkannya ke dalam bilik vakum. Ini akan merosakkan segala-galanya. Lampu biasa akan mengeluarkan gas berbahaya ke dalam persekitaran yang bersih tersebut. Untuk mengelakkan hal ini, kita perlu menggunakan kotak kaca khusus yang sesuai untuk digunakan dalam keadaan vakum. Bahkan filamen lampu juga perlu dipilih dengan teliti agar ia tidak rosak akibat kekurangan oksigen.
Cabaran yang perlu dihadapi
Walaupun pemanas inframerah sangat cepat, ia masih mempunyai batasan. Cahaya inframerah hanya dapat memanaskan bahagian yang boleh dilihat olehnya. Jika bentuk komponen tersebut rumit, maka akan ada kawasan yang tidak mendapat haba yang cukup. Anda perlu memastikan posisi lampu dan sudut pantul cahaya dipilih dengan tepat. Jika tidak, bahagian tepi komponen akan terlalu panas, sementara bahagian tengahnya masih sejuk.
Nasihat
Gunakan pemanas inframerah ini bersama-sama dengan kawalan PID yang efektif serta alat pengukur suhu. Walaupun mudah untuk meningkatkan kuasa pemanas untuk memendekkan masa proses, tetapi berhati-hatilah. Jika anda melakukannya secara berlebihan, ia boleh merosakkan komponen tersebut. Pastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik. Anda mahu wafer menjadi panas, tetapi anda tidak mahu komponen lain rosak. Keseimbangan adalah kunci.