http://ir-heat-solutions.com/ms/tags/mattson/ Recent content in Mattson on Custom Infrared Heat Solutions Hugo ms Sat, 06 Jun 2026 04:23:09 +0800 http://ir-heat-solutions.com/ms/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Sat, 06 Jun 2026 04:23:09 +0800 http://ir-heat-solutions.com/ms/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heat-solutions.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Penggantian lampu Mattson RTP"></p> <p>Pada <a href="https://goldisgood.com">lantai</a> kilang, ruang RTP bukan <a href="https://o-yate.com">sekadar</a> pemanas—ia adalah instrumen proses. Apabila output lampu mengalami pergeseran, keseragaman suhu wafer menjadi tidak stabil. Profil soft bake dan hard bake terkeluar dari sasaran. Kawalan dimensi kritikal terganggu. Anda kehilangan hasil sebelum semakan kecacatan pun bermula.</p> <p>Apa yang penting dari segi teknik adalah kebolehulangan. Kami membina pengganti lampu RTP yang serasi dengan Mattson ini menggunakan sumber halogen gelombang <a href="https://henruite.com">pendek</a> dan kuarza bertransmisi tinggi untuk menyampaikan tenaga radian yang konsisten ke dalam ruang. Anda mendapatkan kestabilan suhu ±0.1°C merentasi wafer, jadi belanjawan terma kekal utuh—terutamanya pada nod maju. Pemasangan ini diiktiraf untuk cleanroom Kelas 1–100, dengan bahan dan pembinaan yang memastikan tiada penghasilan zarah. Ia direka untuk beroperasi 24/7, dengan kebolehpercayaan yang mensasarkan pengurangan masa henti tidak dirancang.</p>