Infraroodverwarmingmodules voor fabriek

Wed, 01 Jul 2026 13:28:34 +0800

Op de productielijn gaat het bij het verhitten van de fotorezist niet om comfort – het gaat om een bepaald thermisch budget dat men zich niet kan veroorloven te overschrijden. Een afwijking van 0,5°C tijdens het verhiten heeft gevolgen voor de nauwkeurigheid van de afmetingen en kan leiden tot mindere productkwaliteit. We hebben onze infraroodverwarmingsmodules zo ontworpen dat dit thermische budget op elk moment wordt nageleefd.

We gebruiken kortegolf-Infraroodemitters die worden gebruikt via een afgesloten optische route die voornamelijk bestaat uit kwarts. Hierdoor wordt er snel energie overgedragen, met minimale thermische inertie. In de actieve zone blijft de uniformiteit van de wafer op ±0,1°C, terwijl de herhaalbaarheid tussen verschillende batches binnen ±0,5°C ligt. De instellingen van het systeem kunnen zeer snel worden aangepast, zodat het proces ook onderweg nog herhaalbaar blijft. De module is geschikt voor gebruik in schone ruimtes (klasse 1–100). Dankzij het ontwerp met weinig deeltjes, blijft het aantal deeltjes tijdens het verhiten laag.

Modulen on Custom Infrared Heat Solutions

Infraroodverwarmingmodules voor fabriek