Wafel on Custom Infrared Heat Solutions

Precisie IR sensor voor wafer

Mon, 27 Jul 2026 09:07:31 +0800

Stop met het verspillen van warmte op de oppervlakken van uw siliciumwafels
Wanneer u siliciumwafels verwarmt, betekent elke verspilde watt dat er geld uit uw zak verdwijnt. De meeste standaardreflectoren zijn niet perfect – ze laten te veel energie in het chassis terechtkomen, in plaats van die energie naar het doel te sturen.

Daarom gebruiken we goud.
Het klinkt luxueus, maar het is praktisch. Goud weerspiegelt infraroodenergie uitstekend. In plaats van dat de lamp de warmte opneemt, stuurt het goud bijna al die warmte terug naar de wafel.

Temperatuursensor voor wafergereedschap

Mon, 27 Jul 2026 09:00:52 +0800

Waarom we goud gebruiken om siliciumwafels te verhitten

Wanneer je siliciumwafels verhit, is het gemakkelijk om te denken dat meer vermogen de oplossing is. Maar het uiteindelijke doel is niet zomaar veel vermogen leveren. Wat echt belangrijk is, is hoeveel energie er daadwerkelijk op het substraat terechtkomt.

Het probleem is dat standaard kwartslampen energie verliezen. Een groot deel van de warmte gaat richting de zijkanten of de achterkant van de lamp, zonder enig effect op het verhittingsproces.

Energieefficiënte waferverwarmer

Sun, 19 Jul 2026 16:28:56 +0800

Koolstofvermindering in de fabriek: een slimmere manier om wafers op te warmen

Als we echt koolstofneutraal willen worden in halfgeleiderfabrieken, moeten we ophouden zoveel energie te verspillen aan het verhitten en drogen van wafers.
De meeste standaard resistieve verwarmers zijn gewoon… lek. Ze geven warmte overal af, waardoor de hele ruimte opwarmt, terwijl je eigenlijk alleen maar wilt dat de chip heet wordt. Dat is energieverlies.
Daarom gebruiken we kortegolf-infrarood (IR)-lampen. In plaats van de lucht op te warmen, raken deze lampen rechtstreeks de oppervlakte van de chip. Het is een snellere en efficiëntere manier om de gewenste werktemperatuur te bereiken.

Veiligheidsafstand voor het verwarmen van de wafer

Wed, 15 Jul 2026 10:10:37 +0800

Hoe houd je een Class 100-cleanroom echt schoon (terwijl je wafer verwarmt)?
Wanneer je in een Class 100-omgeving werkt, moet je voortdurend vechten tegen stofdeeltjes. Eén klein stofdeeltje kan al ervoor zorgen dat je hele lading wafer’s kapotgaat.

Het probleem is dat het niet alleen om de temperatuur gaat wanneer je wafer’s verwarmt. Het gaat ook om de lamp zelf. Normaal glas kan breken of giftige gassen afgeven wanneer het heet wordt. Dit kan leiden tot vervuiling van je werkoppervlak. Daarom gebruiken we hoogzuiver synthetisch kwarts. Geen metalen deeltjes, geen verrassingen.

Lamp voor het drogen van wafers na reiniging

Fri, 03 Jul 2026 15:42:08 +0800

Op de productieafdeling is één watermerk na het schoonmaken al voldoende om een wafer onbruikbaar te maken. Het droogproces na het schoonmaken is geen tussentijdje – het moet volgens strikte specificaties worden uitgevoerd. We hebben onze drooglampen zo ontworpen dat ze de benodigde temperatuur precies op het juiste moment kunnen leveren, net nadat de wafer is schoongemaakt.

Wat technisch gezien belangrijk is: We regelen het droogproces met behulp van kortegolf- en middengolf-infraroodstraling in kwartslampen. Het doel is snelle, gecontroleerde verwarming, zonder dat de fotoresist wordt beschadigd. De temperatuurvariatie blijft binnen ±0,1°C over de hele wafer. Hierdoor blijven de cruciale afmetingen constant. Het systeem werkt schoon: er wordt geen vuil geproduceerd, en het kan worden gebruikt in zuiverruimtes van klasse 1–100. De stabiliteit blijft boven de 5.000 uur, met minder dan 5% daling van de temperatuur. Hierdoor kan het systeem 24/7 draaien zonder problemen.

Uitvouwbare verpakkingsoververwarmer op waferniveau

Fri, 19 Jun 2026 06:32:03 +0800

Bij het gebruik van deze heaters blijft de thermische drift onopgemerkt – er verschijnt geen waarschuwingslampje. In plaats daarvan wordt de drift weerspiegeld in veranderingen in de afmetingen van het product, in een verdunning van het fotorezistmateriaal, of in het feit dat veel producten moeten worden weggegooid en opnieuw verwerkt. Bij het verpakken van chips op chipniveau is de thermische behoeften zeer hoog. Als de heater het gewenste temperatuurniveau niet kan behouden, leidt dat tot verliezen in productie nog voordat de snijmachine zelfs maar in actie komt.