
Przestań tracić ciepło na powierzchniach waferów
Gdy podgrzewasz płytki krzemowe, każdy zmarnowany wat to w zasadzie pieniądze, które wychodzą z twojej kieszeni. Większość standardowych reflektorów ma pewne wady – pozwalają zbyt dużej ilości energii na dostanie się do obudowy, zamiast aby trafiła ona na cel.
Dlatego używamy złota.
Brzmi to elegancko, ale w praktyce jest to rozwiązanie skuteczne. Złoto doskonale odbija energię podczerwoną. Zamiast tego, by obudowa lampy pochłaniała ciepło, złoto odbija niemal całą tę energię z powrotem na wafer.
Dlaczego złoto naprawdę działa
Aluminium ma problemy, gdy długość fal podczerwonych rośnie. Złoto natomiast nie ma takich problemów.
Dzięki dodatkowemu warstwowi złota unikamy straty energii. To oznacza, że nie musisz zwiększać napięcia, aby uzyskać pożądany efekt cieplny. Możesz używać lamp przy niższym natężeniu mocy i nadal osiągnąć zamierzoną temperaturę.
To rozwiązanie jest korzystne dla obu stron – Twoje rury kwarcowe nie są pod tak dużym obciążeniem termicznym, a żarniki trwają dłużej.
Umieszczenie ciepła we właściwym miejscu
Nie tylko odbijamy światło, ale także skupiamy je w małej strefie. To powoduje powstanie strefy o wysokiej gęstości ciepła.
Rezultat? Czas potrzebny do osiągnięcia żądanej temperatury jest krótszy, a temperatura jest stała na całej powierzchni wafera.
Jeśli używasz starych reflektorów, które są uszkodzone lub utlenione, tracisz tę właściwość skupiania światła. Ale złoto się nie utlenia – pozostaje czyste i utrzymuje ciepło dokładnie tam, gdzie należy.
Kilka rzeczy, których należy pamiętać
Ponieważ powłoki złota przekazują znacznie więcej ciepła na wafer, warto zwrócić uwagę na system chłodzenia.
Ze względu na dużą koncentrację energii, nawet niewielka nieprawidłowość w ustawieniach czujników lub lampy może powodować powstanie gorących punktów. Ponadto, jeśli przechodzisz z aluminium na złoto, nie wystarczy po prostu podłączyć urządzenie. Musisz przekalibrować kontrolery PID, aby uniknąć przekroczenia żądanej temperatury.
Po prawidłowym podłączeniu i dostosowaniu czujników, Twoje rachunki za energię będą niższe.