http://ir-heat-solutions.com/ru/tags/%D0%BC%D1%8D%D1%82%D1%82%D1%81%D0%BE%D0%BD/ Recent content in Мэттсон on Custom Infrared Heat Solutions Hugo ru Sat, 06 Jun 2026 04:23:09 +0800 http://ir-heat-solutions.com/ru/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Sat, 06 Jun 2026 04:23:09 +0800 http://ir-heat-solutions.com/ru/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heat-solutions.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Замена лампы Mattson RTP"></p> <p>На производственном участке камера RTP — это не просто нагреватель, а технологический инструмент. При снижении интенсивности ламп ухудшается однородность температуры пластин. Профили soft bake и hard bake выходят за пределы допустимых значений. Контроль критических размеров становится нестабильным. Потери выхода начинаются задолго до начала обзора дефектов.</p> <p>Технически важна воспроизводимость. Мы создали эту совместимую с Mattson замену лампы RTP на основе коротковолновых галогенных источников и кварца с высоким пропусканием для обеспечения стабильного излучения в камеру. Вы получаете стабильность температуры ±0,1°C по всей пластине, что позволяет сохранять тепловой бюджет — особенно на передовых технолочических узлах. Сборка соответствует классу чистоты помещения Class 1–100, материалы и конструкция исключают генерацию частиц. Устройство рассчитано на круглосуточную работу с надежностью, направленной на минимизацию незапланированных простоев.</p>