Профессиональные запасные части для оборудования фабрик

Thu, 04 Jun 2026 03:54:46 +0800

На производственном участке профиль отверждения фоторезиста — это не рекомендация, а требование. Смещение температуры на полградуса по поверхности пластины может изменить CD, и вы сразу оказываетесь в простой, пытаясь найти причину, пока планировщик задач выходит из строя. Мы разработали запасные части для профессионального оборудования фабрики, чтобы обеспечить стабильный термоконтроль там, где это необходимо процессу.

Технически важные параметры
Наши термомодули обеспечивают однородность ±0,1°C по активной зоне и поддерживают стабильность установленной температуры даже при колебаниях напряжения сети и тепловой нагрузки. Совместимость с чистыми помещениями реализована на уровне конструкции, а не как дополнительная опция. Материалы и отделка поверхностей подобраны так, чтобы минимизировать деструкцию и генерацию частиц, что позволяет сохранить параметры ISO Class 1–100. Контур управления настроен на повторяемость, поэтому циклы мягкого и жёсткого отверждения обеспечивают одинаковый тепловой бюджет из партии в партию.

Профессионал on Custom Infrared Heat Solutions

Профессиональные запасные части для оборудования фабрик