http://ir-heat-solutions.com/th/tags/%E0%B8%A7%E0%B8%B2%E0%B9%80%E0%B8%9F%E0%B8%AD%E0%B8%A3%E0%B9%8C/ Recent content in วาเฟอร์ on Custom Infrared Heat Solutions Hugo th Tue, 23 Jun 2026 01:00:20 +0800 http://ir-heat-solutions.com/th/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ Tue, 23 Jun 2026 01:00:20 +0800 http://ir-heat-solutions.com/th/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heat-solutions.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="เครื่องทำความร้อนด้วยรังสีอินฟราเรดคลื่นกลางสำหรับวงจรระดับชิป"></p> <p>ในขั้นตอนการอบวัสดุ ค่าพลังงานความร้อนที่ใช้จะเป็นตัวกำหนดผลลัพธ์ของกระบวนการ การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 2°C ก็สามารถส่งผลต่อขนาดสำคัญของวัสดุได้ และหากมีอนุภาคปนเปื้อนเกิดขึ้นในช่วงการอบ ก็จะทำให้ไม่สามารถใช้วัสดุนั้นได้อีกต่อไป วิธีการใช้ความร้อนแบบดั้งเดิมไม่สามารถรองรับความแม่นยำในระดับต่างๆ ได้ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องเลือกระหว่างความเร็วกับความแม่นยำ</p> <p><strong>สิ่งที่สำคัญจริงๆ คืออะไร?</strong> เครื่องทำความร้อนแบบคลื่นกลางจะปล่อยพลังงานไปยังวัสดุโดยตรง โดยมีสเปกตรัมที่เหมาะสมกับการดูดซับของซิลิคอน ซึ่งช่วยให้เกิดการตอบสนองทางความร้อนได้อย่างรวดเร็ว และสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ เราสามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ที่ ±0.1°C ทั่วทั้งวัสดุ และค่าอุณหภูมิที่กำหนดไว้ก็มีความแม่นยำอยู่ที่ 0.2°C ระหว่างการอบครั้งต่อครั้ง</p> <p>ระบบนี้ยังเหมาะสำหรับการใช้งานในห้องปลอดภัย โดยสามารถใช้งานได้ในระดับ Class 1–100 โดยใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซต่ำ และมีการออกแบบที่ช่วยป้องกันไม่ให้อนุภาคเข้ามาปนเปื้อน โดยปกติแล้ว จำนวนอนุภาคจะอยู่ที่น้อยกว่า 0.3 อนุภาค/ตารางเซนติเมตรในช่วงการอบ ระบบนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่ได้ตั้งใจ และค่าอุณหภูมิก็ยังคงมีความเสถียรตลอดหลายพันครั้งของการอบ</p> <p><strong>ทำไมระบบนี้ถึงเหมาะกับวิธีการทำงานของเรา?</strong> ในกระบวนการลิโธกราฟี เครื่องทำความร้อนนี้ช่วยลดเวลาการอบได้ โดยไม่ส่งผลเสียต่อคุณภาพของวัสดุ ทำให้สามารถเพิ่มอัตราการผลิตได้ และค่าพารามิเตอร์ของโฟโตเรซิสต์ก็ยังอยู่ในขอบเขตที่กำหนดไว้ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลงเมื่อเทียบกับแหล่งพลังงานแบบสเปกตรัมกว้าง เพราะพลังงานถูกปรับให้เหมาะสมกับกระบวนการ ไม่เสียไปกับการทำความร้อนที่ไม่จำเป็น</p> <p><strong>สิ่งที่ควรคำนึงถึงก่อนเริ่มใช้งาน</strong> การติดตั้งเครื่องทำความร้อนนั้นต้องให้มั่นใจว่าขนาดของเครื่องทำความร้อนเหมาะสมกับวัสดุที่จะใช้ และต้องปรับองศาของรังสีอินฟราเรดให้เหมาะสม เพื่อไม่ให้เกิดเงาบัง นอกจากนี้ ยังต้องมีการเชื่อมต่อพลังงานที่เหมาะสมกับห้องปลอดภัย และต้องตรวจสอบค่าพลังงานความร้อนสำหรับผนังของห้องด้วย</p> <p>คลื่นกลางเหมาะสำหรับการใช้งานกับวัสดุโดยตรง แต่อาจไม่เหมาะกับวัสดุที่มีความสามารถในการสะท้อนแสงสูง ในกรณีเช่นนี้ อาจจำเป็นต้องมีการปรับเปลี่ยนการออกแบบของเครื่องทำความร้อน หรือปรับค่าอุณหภูมิเล็กน้อย ควรมีการตรวจสอบค่าอุณหภูมิก่อนเริ่มใช้งาน เพื่อให้มั่นใจว่าค่าอุณหภูมิอยู่ในขอบเขตที่กำหนดไว้</p> <iframe width="560" height="315" src="https://www.youtube.com/embed/Qqy85iR_CcY?feature=oembed" title="เครื่องทำความร้อนด้วยรังสีอินฟราเรดคลื่นกลางสำหรับวงจรระดับชิป" frameborder="0" allow="accelerometer; [autoplay](https://o-yate.com); clipboard-write; encrypted-media; [gyroscope](https://o-yate.net); picture-in-picture; web-share" referrerpolicy="strict-origin-when-cross-origin" allowfullscreen></iframe>