http://ir-heat-solutions.com/th/tags/%E0%B9%81%E0%B8%A1%E0%B8%95%E0%B8%AA%E0%B8%B1%E0%B8%99/ Recent content in แมตสัน on Custom Infrared Heat Solutions Hugo th Sat, 06 Jun 2026 04:23:09 +0800 http://ir-heat-solutions.com/th/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Sat, 06 Jun 2026 04:23:09 +0800 http://ir-heat-solutions.com/th/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heat-solutions.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="การเปลี่ยนหลอดไฟ Mattson RTP"></p> <p>บนพื้นโรงงาน ห้อง RTP ไม่ใช่แค่ฮีตเตอร์ แต่เป็นเครื่องมือกระบวนการ เมื่อแสงจากหลอดเปลี่ยนแปลง อุณหภูมิของแผ่นเวเฟอร์จะไม่คงที่ โปรไฟล์ Soft bake และ Hard bake หลุดจากค่าที่ตั้งไว้ การควบคุมมิติสำคัญ (Critical dimension) ผิดพลาด คุณสูญเสียผลผลิตก่อนเริ่มทำการตรวจสอบตำหนิ</p> <p>สิ่งที่สำคัญในเชิงเทคนิคคือความสามารถในการทำซ้ำ เราออกแบบหลอดสำหรับแทนที่หลอด RTP ที่รองรับ Mattson โดยใช้แหล่งฮาโลเจนคลื่นสั้นและควอตซ์ที่มีการส่งผ่านสูง เพื่อให้พลังงานรังสีที่สม่ำเสมอเข้าสู่ห้องได้ คุณจะได้ความเสถียรของอุณหภูมิ ±0.1°C ทั่วทั้งแผ่นเวเฟอร์ ดังนั้นงบประมาณความร้อนยังคงสมบูรณ์ โดยเฉพาะในโนดขั้นสูง การประกอบนี้ได้รับการจัดอันดับให้เหมาะสมกับคลีนรูม Class 1–100 พร้อมวัสดุและโครงสร้างที่ลดการเกิดฝุ่นละอองเป็นศูนย์ ออกแบบให้ทำงานได้ 24/7 ด้วยความน่าเชื่อถือที่มุ่งไปยังการลดเวลาหยุดงานที่ไม่ได้วางแผนไว้</p> <p>เหตุผลที่สามารถใช้งานร่วมกับลิทธอกราฟีและเครื่อง RTP ได้ดี คือคุณต้องการความสามารถในการทำซ้ำของความร้อนจากกะหนึ่งไปอีกกะหนึ่ง ด้วยหลอดนี้ การอบฟิล์มโฟโตเรซิสต์จะอยู่ในค่ามาตรฐาน ดังนั้น การกระจาย CD และการควบคุมโปรไฟล์จะไม่คลาดเคลื่อน ความหนาของฟิล์มจะเสถียรกว่า ลดจำนวนล็อตที่ต้องแก้ไขซ้ำ และลดของเสีย การใช้พลังงานยังคงเข้มงวด ด้วยการส่งออกที่สม่ำเสมอและการจับคู่พลังงานอย่างมีประสิทธิภาพ ทำให้ไม่จำเป็นต้องขับแรงเกินไปเพื่อชดเชยการเสื่อมสภาพของหลอด</p> <p>ข้อสังเกตเกี่ยวกับการใช้งาน ประกอบติดตั้งจะขึ้นกับเครื่องมือเฉพาะ ต้องจับคู่ฐานหลอด การเชื่อมต่อ และความคลาดเคลื่อนในแนวแกนแสงให้ตรงกับต้นฉบับของ Mattson หลังจากเปลี่ยนหลอด ต้องทำการสอบเทียบความเข้มแสงใหม่เพื่อให้ค่าที่ตั้งสูตรถูกต้อง และก่อนเปลี่ยนหลอด ควรตรวจสอบสภาพหน้าต่างของห้องและความสะอาดของรีเฟลกเตอร์ เนื่องจากประสิทธิภาพของหลอดขึ้นอยู่กับความเสถียรของเส้นทางแสงโดยรอบเท่านั้น</p> <iframe width="560" height="315" src="https://www.youtube.com/embed/9bzgAF1sB1U?feature=oembed" title="การเปลี่ยนหลอดไฟ Mattson RTP" frameborder="0" allow="accelerometer; [autoplay](https://goldisgood.com); clipboard-write; encrypted-media; [gyroscope](https://o-yate.com); picture-in-picture; web-share" referrerpolicy="strict-origin-when-cross-origin" allowfullscreen></iframe>