Neden altın kaplı yansıtıcılar önemlidir?
Wafer işleme süreçlerinde enerji israfı, aslında para kaybı anlamına gelir. Çoğu sistemde fazla miktarda enerji cihazın gövdesine sızar ve bu da bir israftır. İşte bu yüzden IR lambalarımızda altın kaplı yansıtıcılar kullanıyoruz. Böylece ısı, boşa harcanmak yerine doğrudan silikon yüzeyine yönlendirilir.
Altının avantajları
Piyasada birçok alüminyum kaplı yansıtıcı bulunur. Bunlar fena değildir, ancak kızılötesi enerjinin büyük bir kısmını emerler. Altın ise farklıdır; neredeyse tüm kızılötesi ışığı yansıtabilir. Wafer üzerine daha fazla foton düştüğünde, daha iyi bir ısı dağılımı elde edilir ve hedef sıcaklığa çok daha hızlı ulaşılır. Ayrıca, işi yapabilmek için gereken güç de oldukça azalır. Yani bu yöntem daha verimlidir.
Isıyla başa çıkma
Yüksek güçlü bir lambayı küçük bir kutuya yerleştirdiğinizde durum oldukça zorlaşır. Hızlı kurutma veya pişirme için bu tür bir ısı yoğunluğuna ihtiyaç vardır, ancak bu durum ekipman için zararlıdır. Bu yüzden tüpün şeklinin bozulmaması için yüksek saflıkta kuvars kullanıyoruz. Ancak unutulmamalıdır ki, lambanın arkasından ısıyı uzaklaştırmak için uygun bir tasarıma sahip olması gerekir. Aksi takdirde bağlayıcılar zarar görebilir veya altın kaplama bozulabilir.
Lambaların montajı ve çalıştırılması
Bu lambaları, mevcut yarı iletken dizilerine kolayca yerleştirilebilecek şekilde tasarladık. Ayrıca yansıtıcıların geometrisini ayarlayarak ışın demetini daralttık; böylece wafer üzerindeki “soğuk noktalar” ortadan kalkar. Sadece bir uyarı: Lambaları temiz tutun. İnce bir toz tabakası bile verimliliği düşürebilir. Isının sabit kalması için uygun çözücülerle lambaları temizleyin. Eğer altının döküldüğünü veya renginin değiştiğini fark ederseniz, bu lambanın artık kullanılamayacağının bir işaretidir. Onu değiştirin.