Fabrikalarda Karbon Emisyonlarını Azaltmak: Neden Kızılötesi Isıtma Sistemlerine Geçiyoruz?
Eğer temiz oda ortamlarında zaman geçirdiyseniz, durumu anlarsınız. Waferlerin ve yüzeylerin rastgele hareket ettirilmesi mümkün değildir; bunların sabit bir sıcaklıkta tutulması gerekir. Aksi takdirde yoğuşma veya termal şok sorunları ortaya çıkar ve bu da kimse için istenmeyen bir durumdur.
Son zamanlarda “yeşil fabrika” hedeflerine ulaşmak için büyük çabalar gösteriliyor. Eski yöntemler – yani sadece havayı ısıtmak – çok israfçıdır. Bu yüzden kızılötesi (IR) sistemlerine geçiyoruz.
Isının nasıl çalıştığı
Geleneksel ısıtıcılar, ürünü ısıtmak için odadaki tüm havayı ısıtmaya çalışır. Bu, bir evi fırın açarak ısıtmaya çalışmak gibi bir şeydir.
Kızılötesi ısıtıcılar ise farklıdır. Elektromanyetik radyasyon kullanarak hedefe doğrudan ısı gönderir. Kısa dalga boylu kızılötesi lambalar kullanıyoruz; çünkü bunlar neredeyse anında tepki verir. Birkaç dakika beklemek zorunda kalmazsınız; her şey saniyeler içinde gerçekleşir. Daha az bekleme süresi, şebekeden alınan enerjinin de azalmasını sağlar.
Temizlik ve kompaktlık
Yarı iletken fabrikalarında tek bir parçacık bile her şeyi mahvedebilir. Isıtıcıların parça saçmasına izin veremeyiz.
Bunu önlemek için lambaları mühürlü kuvars kapsüller içinde saklıyoruz. Böylece hiçbir atık oluşmaz. Planlama yaparken dikkat etmeniz gereken bir diğer nokta ise alan kullanımıdır. Yüksek verimli kızılötesi ısıtıcılar sayesinde ısıtıcıların kendisi daha küçük olabilir. Bu da taşıma sistemleri için daha fazla alan sağlar ki bu da her zaman avantajlıdır.
Gerçekçi dezavantajlar
Kızılötesi ısıtıcılar sihirli bir çözüm değildir; bazı dezavantajları vardır.
Kızılötesi ışınlar yönlü olduğundan biraz “seçici” davranır. Eğer arabalar eşit şekilde yüklenmezse, soğuk bölgeler oluşur. Isının waferin her yerine eşit olarak ulaşması için lamba pozisyonlarını ayarlamak gerekiyor.
Ayrıca bu lambalar oldukça sıcak olur. Arabanın gövdesi düzgün şekilde yalıtılmazsa, temiz oda havası da ısınır. Bu durumda HVAC sistemi odayı tekrar soğutmak için fazla çalışmak zorunda kalır ve tüm enerji tasarrufu boşa gider.
Kurulum ve kullanım
İyi haber şu ki, bu ısıtıcılar eski dirençli ısıtıcıların yerine kullanılabilir. Kablo bağlantıları da oldukça kolaydır.
Ancak dikkat edilmesi gereken bir nokta var: Hızlı tepki veren bir PID kontrol cihazına ihtiyacınız var. Böyle bir cihaz olmadan sıcaklık kontrolü zorlaşır ve bu da hassas waferler için tehlikeli olabilir.
Ayrıca kuvars oldukça kırılgandır. Küçük bir darbe bile tüpün kırılmasına neden olabilir. Bunu önlemek için lambaların etrafına koruyucu kaplamalar yerleştiriyoruz. Biraz verimlilik kaybı olur, ancak bu, dikkatsiz kullanımlardan kaynaklanacak zararları engellemek için değerlidir.