На лінії виробництва тепловий дрейф не проявляється через спеціальну індикаційну лампу. Він проявляється у зміні критичних розмірів, у тоншанні шару...

На поверхні вафери під час процесу висушування фотополімеру може виникнути точка з підвищеною температурою 0,5°C. Це може призвести до порушення...