Замінник лампи Mattson RTP

Sat, 06 Jun 2026 04:23:09 +0800

On the fab floor, an RTP chamber is not just a heater—it’s a process instrument. When lamp output drifts, wafer temperature uniformity goes sideways. Soft bake and hard bake profiles fall off target. Critical dimension control slips. You’re losing yield before defect review even gets started.

Що має значення з технічної точки зору — це повторюваність. Ми створили цей сумісний з Mattson замінник лампи RTP на основі короткохвильових галогенних джерел і кварцу з високою пропускною здатністю, щоб забезпечити стабільне випромінювання енергії в камеру. Ви отримуєте стабільність температури ±0.1°C по всій поверхні вафера, що дозволяє зберегти тепловий бюджет — особливо на передових технологічних вузлах. Конструкція розрахована на чисті приміщення класу 1–100, із матеріалами і збіркою, які забезпечують нульове утворення часток. Вона призначена для безперервної роботи 24/7 із надійністю, спрямованою на недопущення незапланованих простоїв.

Моттсон on Custom Infrared Heat Solutions

Замінник лампи Mattson RTP

On the fab floor, an RTP chamber is not just a heater—it’s a process instrument. When lamp output drifts, wafer temperature uniformity goes sideways. Soft bake and hard bake profiles fall off target. Critical dimension control slips. You’re losing yield before defect review even gets started.