Виготовлення корпусу нагрівача з нержавіючої сталі

Tue, 02 Jun 2026 06:23:12 +0800

На виробничому майданчику швидко вчишся: зміщення температури випікання фоторезисту на 0,5°C може порушити однорідність критичних розмірів (CD), а одна подія з частинками здатна зруйнувати велику партію. Ми розробили корпус нагрівача зі сталі 316L, щоб утримувати теплові параметри в межах технологічного вікна — зміну за зміною, партію за партією.

Що має значення з технічної точки зору
Корпус виготовлений зі сталі 316L, вибраної за стійкість до корозії та низький рівень десорбції в чистих приміщеннях класу 1–100. Вбудовані інфрачервоні елементи короткохвильового діапазону забезпечують швидкий вихід на робочу температуру з точним контролем, що підтримує однорідність на рівні ±0,1°C по всій площі підкладок 150 мм і 200 мм. Відтворюваність режимів випікання становить ±0,5°C, що гарантує стабільність профілів soft bake і hard bake.

Housing on Custom Infrared Heat Solutions

Виготовлення корпусу нагрівача з нержавіючої сталі