Trong quá trình nung phim phơi ảnh, nếu có sự chênh lệch nhiệt độ 0,5°C trên bề mặt wafer, điều này có thể làm mất kiểm soát độ dày của các đường kẻ trên wafer, từ đó ảnh hưởng đến tỷ lệ thành phẩm. Bộ phản xạ trong đèn nung không chỉ là một linh kiện thông thường; nó còn giúp tạo ra trường nhiệt ổn định, giúp quy trình xử lý diễn ra đồng đều từ lần này sang lần khác.
Chúng tôi đã thiết kế bộ phản xạ này sao cho có thể duy trì độ đồng đều nhiệt độ ở mức ±0,1°C, giúp quy trình nung diễn ra chính xác theo yêu cầu.
Bộ phản xạ này được chế tạo từ thạch anh có độ tinh khiết cao, kết hợp với lớp phủ chuyên dụng để hấp thụ ánh sáng hồng ngoại ngắn và trung bình. Điều này giúp tạo ra sự phân bố năng lượng ổn định, giúp tuân thủ đúng các tiêu chuẩn nhiệt độ cần thiết trong quá trình xử lý phim phơi ảnh.
Thiết bị này có thể hoạt động trong các phòng sạch loại 1–100. Nó được chế tạo từ vật liệu ít phát khí, và bề mặt của nó được xử lý sao cho hạn chế tối đa sự hình thành các hạt bụi. Thiết bị này có thể hoạt động 24/7 mà không cần ngừng máy, đồng thời duy trì hiệu suất ổn định trong hơn 5.000 giờ, với độ lệch cường độ ánh sáng dưới 5%.
Trong quy trình in ấn, độ đồng đều nhiệt độ là yếu tố quan trọng để kiểm soát độ chính xác của các thông số kỹ thuật. Với độ chênh lệch nhiệt độ ≤ 0,1°C trên bề mặt wafer, chúng ta có thể giảm thiểu các khiếm khuyết ở rìa wafer và đảm bảo độ chính xác của các kích thước quan trọng.
Bộ phản xạ này giúp giảm thiểu việc phải làm lại sản phẩm, rút ngắn thời gian kiểm tra chất lượng, đồng thời giảm mức tiêu thụ năng lượng. Ánh sáng được tập trung vào vị trí cần thiết, giúp giảm lượng phế phẩm. Điều này giúp tăng tỷ lệ thành phẩm một cách đáng kể.
Việc lắp đặt thiết bị chỉ cần chú ý đến hướng đặt đèn và dòng khí lưu thông. Bộ phản xạ cần được đặt sao cho sai lệch không quá 0,5° để đảm bảo độ đồng đều nhiệt độ. Nếu sai lệch quá mức, trường nhiệt sẽ bị thay đổi.
Thiết bị này có thể được lắp đặt trong các đèn nung halogen và NIR tiêu chuẩn. Tuy nhiên, các bộ phận thay thế cần phải phù hợp với từng mẫu đèn cụ thể. Sau khi lắp đặt, cần điều chỉnh thời gian nung lại để đảm bảo quy trình hoạt động chính xác.