Đèn hồng ngoại chống nước dùng để rửa.

Trên dây chuyền sản xuất có độ dài 300mm, những biến đổi nhiệt độ do quá trình rửa gây ra sẽ làm thay đổi đặc tính của lớp phim bảo vệ bề mặt wafer...