http://ir-heat-solutions.com/zh/tags/%E5%86%B2%E6%B4%97/ Recent content in 冲洗 on Custom Infrared Heat Solutions Hugo zh Sun, 28 Jun 2026 06:09:52 +0800 http://ir-heat-solutions.com/zh/posts/waterproof-infrared-lamp-for-rinse/ Sun, 28 Jun 2026 06:09:52 +0800 http://ir-heat-solutions.com/zh/posts/waterproof-infrared-lamp-for-rinse/ <p><img src="http://ir-heat-solutions.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="用于冲洗的防水红外线灯"></p> <p>在300毫米光刻线上，冲洗过程中产生的热量变化会导致光刻胶的参数发生波动，从而影响后续的曝光工序。为此，<a href="https://o-yate.net">我们设计了</a>防水的红外冲洗灯，以此来消除这种不确定性。该灯光能在DI水冲洗过程中保持晶圆表面温度的稳定性，从而确保关键尺寸符合标准。</p> <p><strong>从技术角度来说，最重要的是：</strong> 该灯属于短波红外光源，能够高效地加热水和硅材料，实现快速且均匀的表面加热效果。其石英外壳及IP67级密封结构使其适用于1级到100级的洁净室环境——不会产生任何气体释放或颗粒物排放。在照明区域内，晶圆表面的温度稳定性可保持在±0.1°C左右，不同批次之间的重复性也非常好。</p>