http://ir-heat-solutions.com/zh/tags/%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 微机电系统 on Custom Infrared Heat Solutions Hugo zh Thu, 30 Jul 2026 11:13:16 +0800 http://ir-heat-solutions.com/zh/posts/using-directional-ir-heating-to-prevent-equipment-overheating-in-mems-wafer-drying/ Thu, 30 Jul 2026 11:13:16 +0800 http://ir-heat-solutions.com/zh/posts/using-directional-ir-heating-to-prevent-equipment-overheating-in-mems-wafer-drying/ <p><img src="http://ir-heat-solutions.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <h1 id="无需费力即可干燥mems晶圆">无需费力即可干燥MEMS晶圆</h1> <p><a href="https://o-yate.net">如果您有过</a>MEMS芯片制造的工作经验，那么您一定知道干燥晶圆有多麻烦。这确实是一个巨大的难题——必须彻底去除晶圆上的液体，而且不能留下任何残留物。</p> <p>我们的解决方案是使用短波红外灯直接照射晶圆表面。这是一种快速蒸发的方法。其目的就是让晶圆完全干燥，同时避免整个设备变成“桑拿房”。</p> <h2 id="为何定向加热如此有效">为何定向加热如此有效</h2> <p>大多数加热器依赖对流原理来加温——先加热空气，再由空气来加热物体。这种方法效率低下且浪费能源，还会导致设备表面过热。没人希望在使用机器时面临被灼伤的风险。</p>