ফ্যাব ফ্লোরে, পরিষ্কার করার পর মাত্র একটি জলের দাগই ওয়েফারটিকে নষ্ট করে দিতে যথেষ্ট। পরিষ্কার করার পর শুকানোর প্রক্রিয়াটি কোনো বিরতির সুযোগ নয়; এটা একটি নির্দিষ্ট মানদণ্ড। আমরা আমাদের ওয়েফার শুকানোর ল্যাম্পগুলোকে এমনভাবে ডিজাইন করেছি যাতে ভেজা অবস্থায় পরিষ্কার করার পর ঠিক সেই জায়গায় উচ্চতম তাপমাত্রা পৌঁছানো যায়।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ? আমরা কোয়ার্টজ ল্যাম্প ব্যবহার করে শর্ট-ওয়েভ ও মিডিয়াম-ওয়েভ ইনফ্রারেড রশ্মি ব্যবহার করে শুকানোর প্রক্রিয়াটিকে নিয়ন্ত্রণ করি। লক্ষ্য হলো দ্রুত ও নিয়ন্ত্রিতভাবে তাপ প্রয়োগ করা, যাতে ফটোরেজিস্ট ক্ষতিগ্রস্ত না হয়। ওয়েফারের বিভিন্ন অংশে তাপমাত্রার ত্রুটি ≤0.1°C থাকে; ফলে ওয়েফারের আকারগুলো ঠিক থাকে। এই সিস্টেমটি ডিজাইনের কারণেই নির্মল থাকে—কোনো ধূলিকণা তৈরি হয় না। এটা ক্লাস 1–100 ধরনের ক্লিনরুমগুলোতে ব্যবহার করা যায়। 5,000+ ঘন্টা ধরে এটা স্থিতিশীল থাকে; তাপমাত্রার হ্রাস মাত্র 5% এর কম। তাই 24/7 এটা ব্যবহার করা যায়।
কেন এটা বাস্তব ফ্যাবগুলোতে ব্যবহৃত হয়? পরিষ্কার করার পর ওয়েফারে কোনো অবশিষ্ট আর্দ্রতা বা নতুন দূষণ থাকা উচিত নয়। আমাদের ল্যাম্পগুলো দ্রুত আর্দ্রতা দূর করে দেয়; ফলে ফটোরেজিস্ট অক্ষত থাকে। এর ফলে প্রক্রিয়ার সময় কমে যায়, প্রতি ব্যাচে ব্যবহৃত শক্তি কমে যায়, আর ল্যাম্প পরিবর্তনের প্রয়োজনও কমে যায়। তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণে থাকে; ফলে শুকানোর প্রক্রিয়ায় কোনো ত্রুটি হয় না।
ব্যবহারিক বিবরণ: এই ল্যাম্পগুলোর জন্য উপযুক্ত ফিক্সচার ও নির্মল বিদ্যুৎ প্রয়োজন। ভোল্টেজ ও কানেক্টরগুলো আপনার হোস্ট ট্র্যাক/কোটার/বেক প্ল্যাটফর্মের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ হওয়া উচিত। স্পেকট্রাম ও তাপমাত্রা স্থিতিশীল করার জন্য সামান্য সময় দরকার। ল্যাম্পটি ওয়েফারের সঠিক অবস্থানে থাকুক এবং রক্ষণাবেক্ষণের সময় ল্যাম্পটি নির্মল থাকুক।