V provozu na výrobu čipů nejde o pohodlí – jde o termální rozsah, který si nemůžeme dovolit přehlédnout. Jakákoli odchylka o 0,5 °C během procesu zahřívání může ohrozit kontrolu kritických rozměrů a tím i celkovou úspěšnost výroby. Naše infračervená topná zařízení jsou navržena tak, aby tento termální rozsah byl dodržován v každém cyklu.
Používáme krátkovlnné infračervené emitory, které procházejí uzavřenou optickou dráhou tvořenou kvarcem. Výsledkem je rychlé zahřátí s minimální tepelnou inertností. V aktivní zóně zůstává rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C, zatímco opakovatelnost mezi jednotlivými sériemi zůstává v rozmezí ±0,5 °C. Stabilizace nastavené teploty probíhá během několika sekund, takže proces zůstává opakovatelný i tehdy, když se linka pohybuje. Zařízení je vhodné pro použití v čistých prostorách – kompatibilní s klasifikací 1–100. Nízký počet částic zajišťuje, že jejich množství během procesu zahřívání neroste.
Důvod, proč je to důležité v litografii, spočívá v tom, že právě proces zahřívání určuje profil fotorezisty. Stabilizace teploty přímo na povrchu čipu snižuje citlivost na odrazy a zlepšuje rovnoměrnost rozměrů čipu. Stejná disciplína se uplatňuje i při čištění a sušení čipů – kontrolované a rovnoměrné zahřívání snižuje účinky povrchového napětí a pomáhá zabránit kolapsu vzoru. Spotřeba energie klesá, protože emitory zahřívají pouze cílovou oblast, nikoli celou komoru.
Spolehlivost závisí na době provozu. Systém pracuje 24/7 s pravidelnými intervaly údržby, bez nečekaných přerušení.
Na co si dát pozor při integraci
Emisivita se liší v závislosti na typu fólií a kovových vrstev, proto musí být regulace teploty nastavena podle konkrétní struktury, nejen podle samotného zařízení. Zařízení je kompaktní, ale stále je potřeba dodržovat termální odstupy a izolaci – jinak dojde k parazitnímu zahřívání sousedních součástek.
Plánujte krátký testovací proces, abyste zajistili správné nastavení. Jakmile je to nastaveno, proces zůstává opakovatelný, prediktibilní a tišší.