V řadě 300 mm mohou tyto teplotní výkyvy způsobené oplachováním narušit profil vašeho fotorezistentu před dalším zahříváním. Vytvořili jsme vodotěsnou infračervenou lampu, která tento efekt eliminuje. Tato lampa udržuje povrch čipu na konstantní teplotě během cyklů oplachování vodou, takže kritické rozměry zůstávají v požadovaných mezích.
Co je z technického hlediska důležité
Lampa pracuje v oblasti krátkovlnného infračerveného záření – efektivně působí na vodu a křemík, čímž dochází k rychlému zahřívání povrchu. Kvartový obal a uzavřené pouzdro s certifikací IP67 jsou vhodné pro prostředí s úrovní čistoty 1–100 – bez uvolňování plynů a bez nárůstu počtu částic. V osvětlené oblasti zůstává jednotnost teploty na úrovni ±0,1 °C, což zajišťuje konzistentnost mezi jednotlivými sériemi výrobků.
Kontrola je přímá – pomocí zpětné vazby na samotnou lampu. To znamená stabilní výkon i v případě kolísání napětí.
Proč to funguje ve stanici na oplachování
Ve stanicích na oplachování se tepelná energie často plýtvá. Díky této lampě už nemusíte kompenzovat teplotní výkyvy během oplachování, což zkracuje dobu potřebnou k dokončení procesu. Méně je potřeba oprav, méně odpadu a stabilní kontrola rozměrů dílů během litografie.
Zahřívání je řízené a lokální – takže neplýtváte energií na zahřívání celé vody. Spolehlivost je dokázána v praxi: jednotky fungují více než 5 000 hodin s poklesem výkonu menším než 5 %, což snižuje dobu nepřetržitého provozu a snižuje potřebu náhradních dílů.
Co potřebujete vědět předem
Lampa je navržena pro vertikální nebo horizontální montáž nad oblast oplachování. Potřebuje také speciální napájecí a řídicí rozhraní odpovídající prostředí na oplachování. Udržujte dostatečný odstup od cesty čipu, abyste nevytvářeli stíny.
Je potřeba krátké časové období na ohřátí lampy na požadovanou teplotu – plánujte tuto fázi do celého procesu, abyste nevytvorili zbytečné čekací časy.