Rozptýlené zahřívače pro balení na úrovni waferu
V rámci této linky se termální odchylky neprojevují pomocí varovného světla. Projevují se spíše jako kritické rozměry, které se mění, jako ztenčení...
Pokročilá infračervená lampa pro balení
Na balicím pracovišti není teplo nikdy jen teplem. Je to řízený páka v hře o výtěžnost. Jedno chladné místo na waferu během sušení, jedno překročení...