در این خط تولید، اثرات ناشی از گرما با استفاده از چراغ هشدار نشان داده نمیشوند؛ بلکه این اثرات به صورت تغییرات در ابعاد مهم، نازک شدن لایههای فوتورزیست، یا تعداد زیادی از قطعاتی که باید از بین بروند و دوباره ساخته شوند، ظاهر میشوند. در روش بستهبندی در سطح ویفر، محدودیتهای گرمایی بسیار زیاد است؛ اگر هیتر نتواند دما را در سطح یکنواختی حفظ کند، تولید قبل از شروع فرآیند، کاهش خواهد یافت.
ما این هیترها را با استفاده از اجزایی با جرم گرمایی پایین و تطبیقیافته با نور مادون قرمز، ساختهایم. این اجزا باعث میشوند که ویفر به سرعت گرم شود و سپس دمای آن ثابت بماند. در سراسر سطح فعال ویفر، یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد تضمین میشود؛ بنابراین فرآیندهای پخت نرم و سخت نیز به طور مداوم قابل تکرار خواهند بود.
مواد و سیستمهای مهارکننده در این دستگاهها، برای کار در محیطهای پاکسازی شده کلاس ۱ تا ۱۰۰ انتخاب شدهاند. سطوح این دستگاهها به گونهای طراحی شدهاند که هیچ ذرهای تولید نشود و انتشار گازها نیز به حداقل برسد. کنترل دما نیز با استفاده از سنسورهای با رزولوشن بالا و پاسخ سریع سیستم انجام میشود؛ بنابراین سیستم پس از ورود کارتریج و باز شدن درب، دوباره به حالت عادی برمیگردد. نتیجه این امر، داشتن یک تاریخچه گرمایی یکنواخت است؛ که دقیقاً همان چیزی است که فرآیندهای لیتوگرافی، خشک کردن و تثبیت مواد نیاز دارند.
دلیل موفقیت این روش در عمل این است که در فرآیند خشک کردن ویفر، هیتر آب دئیونیزه شده را از بین میبرد، بدون اینکه استرس گرمایی ایجاد کند یا لایههایی روی ویفر باقی بگذارد. در فرآیند فوتورزیست نیز، همین پایداری باعث میشود که فرآیندهای پخت نرم و سخت قابل پیشبینی باشند؛ بنابراین ابعاد مهم و زوایای دیوارههای ویفر نیز در جای خود باقی میمانند.
در فرآیندهای بستهبندی و تثبیت مواد در سطح ویفر، هیتر باعث ایجاد یک روند کنترلشده برای گرم کردن ویفر میشود؛ این کار باعث کاهش تغییرات شکل و وجود حفرهها در ویفر میشود. اگر این روش را با هدفهای قابلیت اطمینان ۲۴/۷ و چرخههای کاری کممصرف ترکیب کنیم، میتوانیم زمان توقف غیرمنتظره، مواد اضافی و هزینههای انرژی را کاهش دهیم؛ بدون اینکه به فرآیندهای شیمیایی دست بزنیم.
این هیترها مستقیماً در پلتفرمهای استاندارد فرآیندی ادغام میشوند؛ اما همچنان نیاز به بررسی هماهنگی آنها با سیستمهای تزریق گاز و خروجی گاز، و همچنین تنظیم سنسورهای دما در هنگام نصب وجود دارد. برنامهریزی برای انجام یک آزمایش کوتاه برای تعیین تاریخچه گرمایی دستگاه، در کنار استفاده از کارتریجها و سطوح مناسب، ضروری است.
پس از تعیین این تاریخچه گرمایی، فرآیند تولید دقیقتر خواهد شد و خط تولید با کمترین مشکلاتی کار خواهد کرد.