در خط تولید، میدانید که چگونه است: حتی کوچکترین تغییر در دما میتواند باعث اختلال در کنترل ابعاد محصول شود. نیازی به «گرما» نیست؛ بلکه به پایداری حرارتی نیاز است تا دما در محدوده مشخص شده باقی بماند.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد:
ما از منابع گرمایشی مادون قرمز خطی استفاده میکنیم؛ این منابع، امواج کوتاه NIR را تولید میکنند. همچنین، دمای ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکنیم. واکنش این سیستم بسیار سریع است؛ بنابراین کنترل خودکار میتواند دما را به خوبی کنترل کند.
بستهبندی این منابع گرمایشی برای محیطهای پاکسازیشده Clase ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ مواد و روکشهای استفاده شده نیز باعث میشوند که تولید ذرات به حداقل برسد. خروجی این سیستم در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کاری، پایدار باقی میماند؛ تغییر شدت گرما نیز کمتر از ۵٪ است. این روش باعث میشود که پارامترهای گرمایشی در هر روز یکسان باقی بمانند.
چرا این روش در فرآیند پردازش فوتورزیست مؤثر است؟
فرآیند پردازش فوتورزیست، در واقع مربوط به کنترل میزان انرژی مصرفی است. اگر انرژی کافی نباشد، حلالها نمیتوانند کار خود را انجام دهند؛ اما اگر انرژی بیش از حد باشد، فوتورزیست جریان پیدا میکند یا فیلم زیرین آسیب میبیند.
با استفاده از این منابع گرمایشی، گرمایش یکنواختی در سراسر ویفر ایجاد میشود؛ بنابراین کیفیت CDها یکنواخت میماند، نقصها کاهش مییابد و مقدار مواد بازیافتی نیز کمتر میشود. واکنش حرارتی سریع نیز باعث کاهش زمان فرآیند میشود؛ همچنین، انرژی تنها در جاهایی مصرف میشود که الزامات فرآیند ایجاب میکند.
نکاتی که باید در نظر گرفت:
این منابع گرمایشی بر اساس استانداردهای بینالمللی تجهیزات نیمههادی طراحی شدهاند؛ همچنین، به عنوان جایگزینی مناسب برای استانداردهای موجود در نظر گرفته شدهاند. این منابع میتوانند در اجاقهای موجود نیز استفاده شوند؛ اما باید به مواردی مانند تحملات نصب و هماهنگی خواص حرارتی توجه کرد. همچنین، هماهنگی الکتریکی باید دقیق باشد؛ زیرا عملکرد حرارتی به هر دو مورد وابسته است. باید سیمکشیهای لازم را به طور دقیق طراحی کرد تا چرخه کنترل پایدار باقی بماند؛ زیرا این همان چیزی است که فرآیند واقعاً نیاز دارد.