בחדרי הייצור, כמו שאתם יודעים, כל שינוי בטמפרטורה של 0.2°C עלול לגרום לשינויים בממדים החשובים של השבב, ולכן יש צורך לשלוח את השבבים האלו לעיבוד נוסף. תנורים רגילים מתקשים להתמודד עם האינרציה התרמית ועם החלקיקים באוויר; כל שבב שנזרק גורם לאובדן יכולת ייצור ולעיכוב בלוח הזמנים.
מה חשוב באמת? יצרנו את התנור לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, כך שהאנרגיה תגיע ישירות לשבב, וכך ניתן להגיע לטמפרטורה הרצויה במהירות, מבלי לחמם את התנור עצמו. האחידות של הטמפרטורה בכל השבבים היא ±0.1°C, והשחזוריות של התהליך גבוהה מאוד – בדיוק מה שנדרש כדי לשלוט בממדים של השבבים בתהליך הליתוגרפיה.
התנור פועל בחדרי ניקיון עם רמת חלקיקים אפסית, כפי שניתן לוודא באמצעות מעקב בזמן אמת. אין פליטת גזים, אין זיהום. הבקרה של התנור מאפשרת שליטה מדויקת בטמפרטורה, והנתונים של התהליך נשמרים כדי לאפשר מעקב אחר התהליך.
שימוש באנרגיה פוחת בזכות הירידה המהירה בטמפרטורה והחימום המינימלי. האמינות של התנור מאפשרת פעולה 24/7, עם זמני תחזוקה צפויים שניתן לתכנן אותם מראש.
למה זה חשוב בייצור שבבים ובאריזתם? הטמפרטורה היא גורם קריטי, בין אם מדובר בעיבוד של חומרי פוטורזיסט או פולימידים. עם תנור אינפרא-אדום זה, ניתן להשיג ביצועים יציבים, זמני עיבוד קצרים יותר, ופחות שבבים שנזרקים. זה אומר שיש יותר שבבים שניתן להשתמש בהם, פחות פסולת, ועלות נמוכה יותר לכל שבב.
ומכיוון שהתנור מתאים לחדרי ניקיון, רמת החלקיקים נשארת נמוכה – דבר חשוב מאוד עבור שבבים ברמת דיוק גבוהה.
מה לצפות בזמן ההתקנה? יהיה צורך בחשמל ברמת ניקיון גבוהה, וכן בחיבור טוב לקרקע. יש גם צורך במרחק מתאים בין הגלאים, כדי שהטמפרטורה תהיה אחידה בכל השבבים. צפיפות השבבים משפיעה על הטמפרטורה, לכן יש להתאים את התנור לסוג השבבים.
יש לצפות לתקופת הרצה קצרה, כדי להתאים את התנור לתהליך הייצור הספציפי שלכם.