בחדרי העיבוד, כמו שאתם יודעים, כל שינוי קטן בטמפרטורה יכול לגרום לכך שהבקרה על הממדים החשובים של החומר תיפגע. אין צורך בחום גבוה – מה שחשוב זו יציבות תרמית שתישמר בתוך הטווח הנדרש, שעה אחר שעה.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים בגופי חימום באור תת-אדום, שמספקים חימום בגלים קצרים. כך אנו שומרים על אחידות הטמפרטורה על פני הוואפר ברמה של ±0.1°C. התגובה של גופי החימום היא מהירה – במילישניות – כך שהבקרה האוטומטית יכולה לעקוב אחר הפרופיל של החימום בצורה מדויקת.
גופי החימום עוצבו לשימוש בחדרים נקיים מסוג Class 1–100. החומרים והציפויים שלהם מונעים יצירת חלקיקים, ככל האפשר. הפלט שלהם נשאר יציב לאורך יותר מ-5,000 שעות, עם שינוי בעוצמה של פחות מ-5%. כך ניתן לשמור על רמות חימום קבועות, יום אחר יום.
למה זה עובד עם חומרי פוטורזיסט? עיבוד חומרי פוטורזיסט דורש שליטה באנרגיה התרמית. אם האנרגיה לא מספיקה, החומר לא יכול להתפרק. אם האנרגיה גבוהה מדי, החומר עלול לזרום, או שהסרט התחתון עלול להיפגע. עם גופי החימום האלו, ניתן לשמור על חימום אחיד על פני הוואפר, כך שהתוצאות יהיו עקביות, הפגמים יפחתו וכמות החומרים הבזבזים תפחת. התגובה התרמית המהירה גם מקצרת את זמן העיבוד, וניתן להשתמש באנרגיה רק במקומות שהתהליך דורש – בלי עודף אנרגיה.
דברים שצריך לקחת בחשבון: גופי החימום האלו עוצבו כך שיעמדו בסטנדרטים הבינלאומיים של ציוד לשבבים. הם נועדו להיות חלופה איכותית לפתרונות הקיימים. הם יכולים להתחבר למתקני חימום קיימים, אך יש לשים לב לטו�лерנסים של החיבורים ולהתאמת האמידות התרמית. ההתאמה צריכה להיות מדויקת, והחיבורים החשמליים צריכים להיות נקיים – הביצועים התרמיים תלויים בשני הגורמים האלו. יש לתכנן את החיבורים החשמליים בצורה נכונה, כדי שהבקרה תישאר יציבה – כי זה בדיוק מה שהתהליך דורש.