בחדרי הייצור, סימן אחד של מים לאחר הניקוי יכול להרוס את הוואפר. שלב הייבוש לאחר הניקוי אינו רק שלב הפסקה – זו דרישה טכנית בסיסית. פיתחנו מנורות ייבוש שמאפשרות שליטה טובה בטמפרטורה, בדיוק ברגע שאחרי הניקוי, שזה הרגע החשוב ביותר בתהליך.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים באור אינפרא-אדום בגלים קצרים ובינוניים כדי לשלוט בטמפרטורה. המטרה היא חימום מהיר ומבוקר, מבלי לפגוע בחומר הפוטורזיסט. רמת הדיוק של הטמפרטורה היא ±0.1°C על פני כל הוואפר, והאחידות נשמרת ברמה גבוהה, כך שהממדים החיוניים של הוואפר לא ישתנו. המערכת פועלת בצורה נקייה – ללא יצירת חלקיקים, והיא מתאימה לחדרים נקיים מסוג Class 1–100. היציבות של המערכת נשמרת לאורך יותר מ-5,000 שעות, עם ירידה של פחות מ-5%, כך שניתן להשתמש בה 24/7 ללא בעיות.
למה זה עובד בחדרי ייצור אמיתיים? לאחר הניקוי, הוואפר צריך להגיע לשלב הייבוש או הליתוגרפיה ללא לחות נותרת וללא זיהום נוסף. המנורות שלנו מסירות את הלחות במהירות, תוך שהן שומרות על החומר הפוטורזיסט שלם. כך ניתן לקצר את זמן העיבוד, להפחית את צריכת האנרגיה לכל משלוח, ולהפחית את מספר החילופים של המנורות. השליטה בטמפרטורה נשמרת, כך שהתהליך יכול להתבצע בצורה יעילה, והפגמים הנוצרים כתוצאה מהייבוש פוחתים.
כאן הפרטים המעשיים: המנורות האלו דורשות ציוד מתאים ואספקת חשמל נקייה. יש לוודא שהמתח והחיבורים של המנורות תואמים למערכות האחרות בחדר הייצור. יש צורך בזמן קצר לחימום המנורות, כדי שהן יפעלו בצורה יעילה. יש לתכנן את ההתקנה מראש, כך שהמנורות יהיו ממוקמות במקום הנכון, ושהחלון שלהן יהיה נקי מכל חומרים לא רצויים, במהלך התחזוקה השוטפת.