फैब्रिकेशन लाइन पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में तापमान नियंत्रण ही सबसे महत्वपूर्ण बात है। आधा डिग्री का भी अंतर CD की एकरूपता को बर्बाद कर सकता है, जबकि धीमी गति से तापमान बढ़ने से उत्पादन दर प्रभावित होती है। हमने ठीक इन्हीं समस्याओं को ध्यान में रखकर ऐसे ही थर्मल हीटर लैंप विकसित किए हैं; ऐसे लैंप स्थिर एवं समायोज्य तापमान प्रदान करते हैं, खासकर तब जब वेफर के लिए तापमान नियंत्रण में कोई लचीलापन ही न हो।
क्या महत्वपूर्ण है?
हमने क्वार्ट्ज आवरण में शॉर्ट-वेव हैलोजन एमिटर का उपयोग किया है। यह तेजी से गर्म होता है, एवं लंबे समय तक स्थिर रहता है। फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में तापमान नियंत्रण बहुत ही सटीक है; वेफर की सतह पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C के भीतर ही रहती है। तापमान नियंत्रण बहुत ही सुचारू है, इसलिए आप आवश्यकतानुसार तापमान नियंत्रित कर सकते हैं। यह सिस्टम क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी आसानी से काम कर सकता है, एवं कार्य करते समय कोई कण भी उत्पन्न नहीं होता। इसकी विश्वसनीयता 24/7 है; फील्ड यूनिटें 5,000+ घंटों तक काम कर सकती हैं, एवं उत्पादन दर में 5% से भी कम कमी आती है।
यह लाइन के लिए क्यों उपयुक्त है?
चाहे आप कोई ट्रैक-बेक मॉड्यूल इस्तेमाल कर रहे हों, या इसे किसी मौजूदा कोटिंग/बेकिंग प्लेटफॉर्म में इस्तेमाल कर रहे हों, यह लैंप पारंपरिक हीटरों की जगह ऐसा उपकरण है जो अंतरराष्ट्रीय सेमीकंडक्टर उपकरण मानकों को पूरा करता है। इससे प्रक्रिया की पुनरावृत्ति संभव होती है, क्रिटिकल डाइमेंशनों पर बेहतर नियंत्रण होता है, एवं ऊर्जा खर्च भी कम होता है। चूँकि तापमान नियंत्रण तेजी से होता है, इसलिए प्रक्रिया में लगने वाला समय भी कम हो जाता है; नियोजित न होने वाला डाउनटाइम भी कम हो जाता है।
व्यावहारिक विवरण
यह लैंप मानक टूल फॉर्मेट में ही उपलब्ध है; लेकिन इंस्टॉलेशन के दौरान सब्सट्रेट से इसका तापीय संबंध जाँचना आवश्यक है, ताकि वांछित एकरूपता प्राप्त हो सके। सर्वोत्तम परिणामों हेतु, लैंप की दिशा एवं रिफ्लेक्टर की ज्यामिति को बेकिंग प्लेट के अनुरूप ही रखें, एवं यह सुनिश्चित करें कि पावर सप्लाई पूरे डिमिंग रेंज को संभाल सके। यह निर्धारित तापमान एवं वोल्टेज सीमाओं के भीतर ही काम करता है; इन सीमाओं से बाहर जाने पर लैंप का जीवनकाल कम हो जाता है, एवं तापीय स्थिरता भी बर्बाद हो जाती है।