Mengurangi Emisi Karbon di Pabrik Semikonduktor: Mengapa Kita Beralih ke Sistem Pemanasan Inframerah
Jika Anda pernah berada di ruang bersih, Anda pasti tahu betapa pentingnya menjaga suhu tetap konstan. Anda tidak boleh sembarangan memindahkan wafer atau substrat tersebut; suhu mereka harus tetap stabil. Jika tidak, akan terjadi kondensasi atau guncangan termal, yang tentu saja merupakan situasi yang sangat tidak diinginkan.
Belakangan ini, ada upaya besar untuk mencapai tujuan “pabrik hijau”. Cara lama, yaitu dengan memanaskan udara di sekitar produk, ternyata sangat boros energi. Itulah mengapa kita beralih ke sistem pemanasan inframerah.
Bagaimana cara kerja sistem pemanasan inframerah
Bayangkan saja: pemanas tradisional berusaha memanaskan seluruh udara di dalam ruangan agar produk menjadi hangat. Ini sama seperti mencoba memanaskan rumah dengan membuka oven.
Sedangkan sistem inframerah berbeda. Sistem ini menggunakan radiasi elektromagnetik untuk memanaskan permukaan target secara langsung. Kita menggunakan lampu inframerah berfrekuensi tinggi karena lampu tersebut bereaksi dengan cepat. Anda tidak perlu menunggu beberapa menit agar suhu naik; hal ini terjadi dalam hitungan detik. Dengan demikian, penggunaan energi pun berkurang.
Menjaga kebersihan dan ukuran yang kompak
Di pabrik semikonduktor, satu partikel kecil pun bisa merusak segalanya. Kita tidak boleh membiarkan pemanas mengeluarkan debu.
Untuk mengatasi hal ini, kita membungkus lampu tersebut dalam kemasan kuarsa yang kedap udara. Dengan begitu, tidak akan ada debu yang keluar. Hal lain yang perlu diperhatikan saat merancang tata letak pabrik adalah ukuran pemanas itu sendiri. Karena sistem inframerah sangat efisien, ukuran pemanas bisa lebih kecil. Hal ini memberikan ruang lebih untuk alat pengangkut wafer, yang tentu saja merupakan keuntungan besar.
Kekurangan sistem pemanasan inframerah
Namun, sistem inframerah bukanlah solusi yang sempurna. Ada beberapa kekurangannya.
Karena sinar inframerah bersifat direksional, maka pemanasan hanya terjadi di area tertentu saja. Jika wafer tidak diposisikan secara merata, maka akan ada bagian yang tetap dingin. Anda perlu mengkalibrasi posisi lampu agar panasnya dapat merata ke seluruh permukaan wafer.
Selain itu, lampu inframerah sangat panas. Jika rangka troli tidak dilindungi dengan baik, maka udara di ruang bersih akan menjadi panas. Hal ini akan membuat sistem HVAC harus bekerja keras untuk mendinginkan ruangan kembali. Dengan demikian, semua penghematan energi yang telah dicapai akan hilang.
Pengaturan dan pemeliharaan sistem pemanasan inframerah
Berita baiknya? Kami telah merancang sistem ini agar dapat menggantikan pemanas konvensional. Proses penerapan sistem ini juga mudah.
Hanya perlu diingat bahwa Anda membutuhkan kontroler PID yang cepat. Tanpa kontroler ini, suhu bisa melebihi batas yang ditentukan, dan hal ini tentu berbahaya bagi wafer yang sensitif.
Selain itu, kuarsa merupakan bahan yang rapuh. Satu benturan kecil saja sudah cukup untuk merusaknya. Oleh karena itu, kami menyediakan pelindung khusus untuk melindungi lampu tersebut. Meskipun hal ini sedikit mengurangi efisiensi, namun hal ini penting untuk memastikan bahwa troli yang tidak hati-hati tidak akan merusak lampu tersebut.