マットソンRTPランプ交換

Role ファブフロアにおいて、RTPチャンバーは単なる加熱装置ではなく、プロセス計測機器である。ランプ出力が変動すると、ウェーハの温度均一性が乱れる。ソフトベークおよびハードベークの温度プロファイルが目標からずれ、重要寸法の管理が甘くなる。欠陥解析が始まる前に歩留まりが低下する。 重要なのは技術...