Di bilik penghasilan cip, proses pemanasan bahan fotoresist bergantung sepenuhnya pada kawalan suhu yang tepat. Sebarang perubahan suhu sebanyak setengah darjah sahaja boleh merosakkan keseragaman cip tersebut. Kami telah mencipta lampu pemanas semikonduktor yang boleh diatur intensitinya, agar suhu yang dihasilkan tetap stabil dan boleh disesuaikan mengikut keperluan, terutamanya apabila suhu wafer tidak boleh berubah-ubah.
Apa yang penting dalam sistem ini
Lampu ini menggunakan pancaran halogen berfrekuensi rendah yang berada di dalam selubung kuarz. Ia dapat memanaskan permukaan wafer dengan cepat dan secara efisien, sambil mengekalkan suhu yang stabil untuk jangka masa yang lama. Kawalan suhu semasa proses pemanasan sangat tepat, dengan variasi suhu pada tahap wafer yang kurang dari ±0.1°C. Penyesuaian intensiti cahaya juga dilakukan dengan lancar, tanpa adanya fluktuasi suhu. Sistem ini sesuai digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, dan ia tidak menghasilkan sebarang zarah habuk semasa beroperasi. Kebolehpercayaannya tinggi, kerana unit ini dapat beroperasi 24/7, dengan ketahanan melebihi 5,000 jam tanpa penurunan prestasi lebih dari 5%.
Mengapa ia sesuai untuk digunakan
Sama ada anda ingin menggunakan lampu ini sebagai modul pemanasan khusus atau menggantikan pemanas konvensional dalam platform pencelupan/cucian cip, lampu ini memenuhi standard peralatan semikonduktor antarabangsa. Ia memastikan proses pengeluaran menjadi lebih konsisten, dengan kawalan dimensi yang lebih baik, serta penggunaan tenaga yang lebih efisien. Masa yang diperlukan untuk proses pemanasan juga berkurangan kerana tindak balas termal yang cepat. Selain itu, masa henti yang tidak dirancang juga berkurangan, kerana selubung lampu tetap sejuk walaupun lampu itu dihidupkan dan dimatikan berkali-kali.
Butiran praktikal
Lampu ini sesuai digunakan dalam ruang yang mempunyai standard tertentu. Namun, anda perlu memastikan adanya hubungan termal yang baik antara lampu dan permukaan wafer semasa pemasangan, agar suhu yang dihasilkan tetap seragam. Untuk mendapatkan hasil yang terbaik, orientasi lampu dan geometri reflektor perlu disesuaikan dengan plat pemanasan, dan pastikan bekalan kuasa mampu menampung seluruh julat penyesuaian intensiti cahaya. Lampu ini beroperasi dalam lingkungan suhu dan voltan yang ditetapkan; jika melebihi had tersebut, jangka hayat lampu akan berkurangan dan stabiliti termalnya akan terganggu.