Di bahagian pengeluaran, proses pembakaran bahan fotoresist bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan begitu saja. Ia merupakan proses yang memerlukan kawalan suhu yang tepat; sebarang perubahan suhu sebanyak 0.5°C boleh menjejaskan kualiti hasil pengeluaran. Kami telah mencipta modul pemanasan inframerah yang mampu memastikan kawalan suhu yang tepat, dari satu kitaran ke kitaran yang lain.
Kami menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek yang beroperasi melalui laluan optik yang diperbuat daripada kuarsa. Hasilnya adalah haba yang dihasilkan dengan cepat, tanpa adanya rintangan haba yang banyak. Di kawasan yang aktif, ketepatan suhu pada tahap wafer dapat dipertahankan pada tahap ±0.1°C, manakala ketekalan antara setiap sesi pengeluaran pula berada dalam lingkungan ±0.5°C. Penstabilan suhu berlaku dalam masa beberapa saat sahaja, supaya proses pengeluaran dapat dilakukan secara konsisten walaupun mesin sedang beroperasi. Modul ini juga sesuai digunakan di bilik bersih yang memenuhi standard Class 1–100. Reka bentuk modul ini yang minim berdebu membantu mengelakkan peningkatan jumlah zarah debu semasa proses pembakaran.
Inilah sebabnya mengapa proses pembakaran ini penting dalam litografi: ia menentukan profil bahan fotoresist. Dengan mengawal suhu dengan tepat pada permukaan wafer, kepekaan terhadap pantulan cahaya dapat dikurangkan, dan ketepatan ukuran permukaan wafer dapat ditingkatkan. Prinsip yang sama juga digunakan dalam proses pembersihan dan pengeringan wafer, di mana pemanasan yang terkawal membantu mengurangkan kesan tegangan permukaan dan mencegah keruntuhan corak yang dihasilkan. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana pemancar tersebut hanya memanaskan objek yang dituju, bukan seluruh ruang dalaman mesin.
Kebolehpercayaan sistem bergantung pada masa operasinya. Sistem ini boleh beroperasi 24/7 dengan jadual penyelenggaraan yang tetap, tanpa gangguan yang tidak dijangka.
Apa yang perlu diperhatikan semasa integrasi
Emitiviti berbeza-beza antara pelbagai lapisan filem dan logam. Oleh itu, kawalan suhu perlu disesuaikan mengikut lapisan tersebut, bukan hanya berdasarkan alat yang digunakan. Walaupun modul ini berukuran kompak, namun masih perlu dipastikan adanya jarak yang cukup antara komponen-komponen tersebut, agar tidak berlaku pemanasan yang tidak diinginkan pada komponen lain. Lakukan ujian awal untuk memastikan semuanya berfungsi dengan baik. Setelah itu, proses pengeluaran akan menjadi lebih konsisten dan boleh diramalkan.