
Mengurangkan pelepasan karbon di kilang semikonduktor: Mengapa lampu inframerah UHP berkesan
Jika anda ingin menjadikan kilang semikonduktor anda sebagai kilang yang bebas karbon, anda perlu memikirkan tentang masalah haba. Haba merupakan sumber tenaga yang paling banyak digunakan di kilang-kilang ini. Kebanyakan kita biasa menggunakan pemanas jenis resistif yang lama, tetapi sebenarnya ia hanyalah alat pemanas yang kurang efisien—ia membuang banyak tenaga hanya untuk memanaskan udara di sekelilingnya.
Itulah sebabnya lampu inframerah UHP sangat berguna. Berbeza dengan pemanas biasa, lampu ini mengarahkan haba tepat ke tempat yang diperlukan, iaitu ke wafer atau tiub kuarza.
Rahsianya terletak pada prinsip fizik.
Lampu ini menggunakan sinar inframerah berfrekuensi rendah. Bayangkanlah seperti sinar matahari yang menyentuh kulit kita pada hari yang sejuk; kita akan merasakan kehangatan tersebut dengan segera, walaupun suhu udara di sekeliling kita sangat rendah. Kita menggunakan lampu ini untuk proses difusi dan oksidasi pada suhu tinggi, kerana ia dapat menghantar tenaga secara langsung ke permukaan bahan yang diproses.
Ia sangat efisien. Anda memerlukan lebih sedikit kilowatt-jam untuk memproses setiap wafer, yang bermakna jejak karbon yang dihasilkan akan berkurangan.
Tetapi anda tidak boleh sekadar memasang lampu ini dan menganggap semuanya selesai.
Dalam industri ini, sedikit saja kekotoran boleh merosakkan keseluruhan hasil pengeluaran. Itulah sebabnya kita menggunakan selubung kuarza yang bersih. Dengan cara ini, anda tidak perlu risau tentang ion logam yang boleh merosakkan produk yang dihasilkan. Selain itu, filamen lampu ini direka untuk bertahan dalam jangka masa yang lama. Tiada siapa yang mahu mengganti lampu ini setiap beberapa minggu.
Satu petua penting: Perhatikan cara pemasangan lampu tersebut.
Kuarza akan memuai apabila panas. Jika lampu dipasang terlalu ketat, tiub kuarza boleh pecah. Anda perlu memberi ruang kepada lampu tersebut untuk “bernafas”.
Ada juga kelemahan…
Untuk mencapai sistem pengeluaran yang “ hijau”, biasanya diperlukan kawalan PID untuk menguruskan haba. Kelebihannya ialah masa yang diperlukan untuk memulakan proses pengeluaran menjadi lebih cepat. Anda juga akan menghasilkan lebih banyak produk dengan pembaziran yang lebih sedikit.
Tetapi perlu diingat bahawa lampu ini mempunyai kuasa yang sangat tinggi. Anda tidak boleh sekadar meletakkannya dalam kotak lama dan berharap semuanya akan berjalan lancar. Jika sistem penyejukan tidak cukup kuat, lampu tersebut akan rosak lebih cepat daripada yang sepatutnya.
Jika sistem penyejukan berfungsi dengan baik, maka ia merupakan penyelesaian yang sempurna.