На производственном участке именно на этапе запекания определяется тепловой бюджет процесса. Изменение температуры на 2°C во время процедуры мягкого или жесткого запекания может повлиять на критические размеры деталей. Если в процессе запекания появляются частицы, то вся партия продукции становится бесполезной. Традиционные методы нагрева не могут обеспечить такую точность контроля температуры, которая необходима для производства современных чипов; при этом приходится выбирать между скоростью и точностью контроля.
Что действительно важно Инфракрасные нагреватели средней длины волны передают энергию непосредственно на пластину, причем спектр излучения соответствует спектру поглощения кремния. Это позволяет получить быструю реакцию на изменения температуры и точный контроль в состоянии равновесия. Мы поддерживаем однородность температуры на уровне ±0,1°C по всей поверхности пластины, а значение температуры остается стабильным в пределах 0,2°C от целевого значения.
Устройство разработано таким образом, чтобы соответствовать требованиям чистых помещений класса 1–100: используются материалы с низким уровнем выделения газов, а конструкция устройства исключает появление частиц. Количество частиц во время процедуры запекания остается на уровне менее 0,3 частиц/см². Система работает круглосуточно без простоев, а тепловой профиль остается стабильным на протяжении тысяч циклов.
Почему это подходит для нашего производства В литографических установках эти нагреватели сокращают время запекания, не нарушая при этом параметры процесса. Это позволяет повысить производительность, а параметры фотопленки остаются в пределах допустимых значений. Потребление энергии снижается по сравнению с использованием источников широкого спектра излучения, так как энергия направляется именно на процесс, а не тратится на побочные процессы нагрева.
Это позволяет улучшить однородность критических размеров деталей, так как тепловой профиль остается стабильным при каждом цикле процесса. В процессе упаковки такая точность сохраняет стабильность процессов закрепления клея и ламинации пленок, что снижает количество брака и необходимости переработки.
Что нужно учитывать заранее Установка нагревателей заключается в соответствии их размеров размерам подставки, а также в правильной настройке пути излучения, чтобы избежать эффекта теней. Необходимо также учитывать требования к электропитанию и системе управления в чистых помещениях, а также определить тепловой бюджет стенок камеры.
Инфракрасное излучение хорошо подходит для обработки пластин, но оно менее эффективно для высокоотражающих поверхностей. В таких случаях может потребоваться специальная конструкция нагревателей или небольшое смещение целевой температуры. Перед началом производства необходимо проверить процесс с помощью теплового профиля пластины, а затем закрепить настройки.