На линии упаковки достаточно всего лишь отклонения температуры обжига в 0,3°C, чтобы превратить потенциально качественные компоненты Mini LED в бракованные изделия: появляются мертвые пиксели, происходит делинерация материалов, а также снижается процент годных продуктов. Все это происходит именно там, где этого совсем не хочется видеть — в ящиках для переработки бракованной продукции. Необходимо, чтобы тепло распределялось именно там, где это нужно, в каждом цикле обработки.
Что имеет значение с технической точки зрения Мы спроектировали этот светильник с использованием инфракрасного нагрева в диапазоне НИР, что обеспечивает высокую однородность температуры на поверхности чипа. Тепловое поле равномерно распределяется по всей поверхности чипа, без образования «горячих точек» или «холодных зон».
Повторяемость процесса гарантируется за счет специальной системы управления. Установленные параметры сохраняются на протяжении всего времени работы, и система поддерживает одинаковые условия температуры в каждом цикле обработки. Это позволяет получать стабильные результаты при обработке фоторезиста — нет риска чрезмерной или недостаточной обработки, что может привести к проблемам с формированием структур на поверхности чипа.
Почему это работает в данном процессе Для упаковки чипов Mini LED необходимы точно контролируемые условия температуры, что возможно только в условиях чистых помещений класса 1–100. Этот светильник не создает никаких частиц во время работы, поэтому не возникает риска загрязненияWaferа или нарушения целостности упаковки.
Светильник может работать круглосуточно, обеспечивая стабильную работу в процессах литографии и упаковки. При этом энергопотребление остается в разумных пределах. Результатом является более точный контроль критических размеров чипа, меньшее количество необходимостей в переработке продукции, а также возможность планирования времени выполнения процессов.
Вот практические детали Инфракрасный нагрев является быстрым и точным методом, но он чувствителен к различиям в эмиссивности различных поверхностей, а также к геометрии расположения элементов. Необходимо правильно выбрать положение светильника и параметры его работы, чтобы они соответствовали расположению чипов.
Также важно, чтобы монтаж светильника и его тепловая изоляция соответствовали требованиям оборудования. После правильной настройки процесс становится более предсказуемым.