Как сохранить чистоту в среде класса 100 во время нагрева пластин
Когда вы работаете в среде класса 100, вы боретесь с пылью. Одна-единственная крошечная частица пыли может разрушить всю партию продукции.
Проблема заключается в том, что при нагреве пластин опасность исходит не только от высокой температуры, но и от самой лампы. Обычное стекло может разрушаться или выделять токсичные газы при нагревании, что приводит к загрязнению поверхности пластин. Поэтому мы используем синтетический кварц высочайшей чистоты. В нем нет металлических примесей, что исключает риск загрязнения.
Идеальное расстояние между лампой и пластиной
Нельзя просто приблизить инфракрасную лампу к пластине. Это приведет к возникновению «горячих точек», которые искажают структуру кремния. Если лампа даже коснется пластины, это приведет к ее мгновенному загрязнению. Необходимо найти подходящее расстояние между лампой и пластиной. Если лампу подвести ближе, тепло будет слишком интенсивным, но оно будет распределяться неравномерно. Чтобы обеспечить равномерную температуру на всей поверхности пластины диаметром 300 мм, можно увеличить мощность лампы. Но нужно быть осторожным – чрезмерная мощность может повредить саму лампу.
Почему мы используем спеканный кварц
Мы устраняем все возможные примеси – нет никаких покрытий, клеев или других материалов, которые могут разрушаться при нагревании. Мы используем спеканный кварц, так как он может выдерживать многократные циклы нагрева и охлаждения без повреждений. Также мы используем специальные электроды, чтобы избежать повреждения уплотнительных элементов. Самое лучшее – это то, что кварц настолько чист, что коротковолновое инфракрасное излучение проходит сквозь него без задержек. Это позволяет большему количеству энергии достигать пластины, а сама лампа остается прохладной.
Недостатки
Однако у высокочистого кварца есть один недостаток – он хрупкий. Он хорошо переносит тепло, но плохо переносит вибрации. Если крепления лампы вызывают вибрации, это приведет к повреждению поверхности лампы. Поэтому необходимо обеспечить надежное крепление лампы. Также не забудьте о системе охлаждения – она должна быть достаточно мощной, чтобы справляться с всем теплом, исходящим от пластины.