Сушка пластин MEMS без проблем
Если вы когда-либо работали с производством устройств типа MEMS, вы знаете, насколько сложно сушить эти пластины. Это настоящий барьер в процессе производства. Необходимо полностью удалить жидкость с поверхности пластины, при этом не оставляя ни капли осадка.
Наш подход заключается в использовании ламп с коротковолновым инфракрасным излучением для непосредственного воздействия на поверхность пластины. Это своего рода метод мгновенной испарения. Цель — сделать пластину совершенно сухой, не превращая при этом всю камеру в «сауну».
Почему направленное нагревание действительно эффективно
Большинство нагревателей работает по принципу конвекции: они нагревают воздух, а затем воздух нагревает саму деталь. Этот процесс медленный и неэффективный; к тому же возникают «горячие зоны». Никто не хочет работать с устройством, чья внешняя оболочка представляет опасность из-за высокой температуры.
Поэтому мы перешли на направленное инфракрасное нагревание. Инфракрасное излучение движется по прямой линии; оно не зависит от состояния воздуха и направляется строго на цель. Благодаря использованию кварцевых оболочек и специальных отражателей мы можем направить всю энергию прямо на поверхность пластины. В результате внутренняя часть устройства остается прохладной, а тепло оказывается именно там, где нужно — на поверхности пластины, а не на корпусе устройства.
Мощность, безопасность и электрические проблемы
Эти лампы с высокой мощностью создают значительное количество тепла. Для быстрой сушки необходима такая мощность, но это может стать проблемой для электрической схемы устройства. Если использовать лампу с высоким напряжением, необходимо убедиться, что проводка способна выдерживать такую нагрузку. В противном случае можно ожидать поломки оборудования.
Мы также фокусируем лучи, чтобы предотвратить рассеивание излучения. Это важно с точки зрения безопасности. Оператор должен иметь возможность прикасаться к поверхности устройства, не рискуя получить ожоги, даже когда температура пластины достигает 150°C.
Недостатки
Направленное нагревание — не волшебная палочка. Поскольку лучи очень интенсивны, они могут создавать локальные очаги нагрева, если пластина расположена неправильно. Необходимо очень точно контролировать фокусное расстояние. Если лампа находится слишком близко, пластина может деформироваться. Если же лампа слишком далеко, время сушки увеличивается, что снижает производительность. Все дело в поиске правильного баланса между скоростью и безопасностью.