Почему мы заменяем старые печи на устройства для обработки с помощью инфракрасного излучения в производственных цехах
Честно говоря, эти старомодные конвекционные печи уже устарели. В мире полупроводников наблюдается значительный переход на использование устройств для обработки с помощью инфракрасного излучения. Речь идет не просто о соблюдении экологических стандартов или требований к отсутствию свинца в материалах – дело в том, что такие устройства работают гораздо лучше.
Конвекционные печи работают по принципу нагрева всего объема воздуха внутри печи, чтобы нагреть поверхность чипа. Этот процесс медленный, требует большого количества энергии, к тому же возникает риск попадания пыли или других частиц в горячий воздух, что может повредить поверхность чипа.
Инфракрасное излучение работает иначе: энергия передается напрямую от лампы к поверхности материала. Нет никаких посредников, нет необходимости ждать, пока нагреется весь объем помещения. При включении лампы фотоны сразу же преобразуются в тепло. Это очень быстро. Значит, для обработки одного чипа требуется гораздо меньше энергии.
Еще одной проблемой является использование материалов без свинца. При работе с такими материалами необходимо учитывать более высокую температуру плавления и очень узкий диапазон допустимых температур. Если температура превысит определенный порог, это может повредить сам материал.
Поэтому мы используем устройства с коротковолновым и средневолновым инфракрасным излучением. Это позволяет контролировать степень нагрева. Можно идеально обработать поверхность чипа, не нагревая весь компонент. Нет деформации, нет тепловых напряжений – только чистая обработка.
Но есть и недостаток: эти устройства выделяют огромное количество тепла в очень маленьком пространстве. Нельзя просто поместить такое устройство в старую печь и считать, что все в порядке. Если нет подходящей системы вентиляции и охлаждения, то корпус устройства может разрушиться от высокой температуры. Необходимо учитывать не только аспекты нагрева, но и охлаждения.
Мы разрабатываем такие системы для замены устаревших методов обработки. Устранение всех элементов, связанных с обработкой воздуха, позволяет снизить углеродный след и удовлетворить требования экологических инспекторов. Это просто логично.