ในโรงงานผลิตชิป แค่มีรอยน้ำหลังจากการทำความสะอาดเพียงเล็กน้อยก็เพียงพอที่จะทำลายชิปได้แล้ว ขั้นตอนการอบแห้งหลังการทำความสะอาดไม่ใช่ขั้นตอนที่สามารถละเลยได้ เพราะเป็นขั้นตอนสำคัญมาก เราได้ออกแบบเครื่องอบแห้งชิปให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ โดยเฉพาะในช่วงหลังการทำความสะอาด เพื่อให้ได้ผลลัพธ์ที่ดีที่สุด
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราใช้แสงอินฟราเรดคลื่นสั้นและคลื่นกลางในเครื่องอบแห้ง เพื่อควบคุมอุณหภูมิให้เหมาะสม โดยมีเป้าหมายเพื่อให้เกิดการอุ่นชิปอย่างรวดเร็ว โดยไม่ทำให้สารฟอโตเรสิสต์เสียหาย อุณหภูมิที่ได้มีความแม่นยำอยู่ที่ ±0.1°C และความสม่ำเสมอของอุณหภูมิก็อยู่ในระดับที่ดีมาก ทำให้ขนาดของชิปไม่เปลี่ยนแปลงไป ระบบนี้ถูกออกแบบมาให้สะอาดตั้งแต่เริ่มต้น โดยไม่มีการสร้างอนุภาคสกปรกใดๆ และสามารถใช้งานได้ในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 ระบบนี้มีความเสถียรสูง โดยมีการลดลงของอุณหภูมิน้อยกว่า 5% ดังนั้นจึงสามารถใช้งานได้ 24/7 โดยไม่มีปัญหา
เหตุผลที่เหมาะสำหรับการใช้งานจริง หลังจากการทำความสะอาด ชิปจำเป็นต้องได้รับการอบแห้งโดยไม่มีความชื้นหลงเหลือ และไม่มีสิ่งสกปรกเพิ่มเติม เครื่องอบแห้งของเราสามารถกำจัดความชื้นได้อย่างรวดเร็ว พร้อมทั้งรักษาสารฟอโตเรสิสต์ไว้ให้สภาพดีสำหรับขั้นตอนการอบแห้งต่อไป ทำให้ใช้เวลาในการผลิตน้อยลง และมีการใช้พลังงานน้อยลงด้วย นอกจากนี้ ยังช่วยลดความเสียหายจากความผิดพลาดในการอบแห้งได้อีกด้วย
รายละเอียดเชิงปฏิบัติ เครื่องอบแห้งเหล่านี้ต้องมีอุปกรณ์ที่เหมาะสม และแหล่งจ่ายไฟที่สะอาด ต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าแรงดันไฟฟ้าและขั้วต่อสามารถทำงานร่วมกับอุปกรณ์อื่นๆ ได้ มีเวลาสั้นๆ สำหรับการปรับอุณหภูมิก่อนการใช้งาน ควรวางแผนการติดตั้งล่วงหน้า เพื่อให้เครื่องอบแห้งอยู่ในตำแหน่งที่เหมาะสมกับชิป และต้องรักษาหน้าต่างของเครื่องอบแห้งให้สะอาดตลอดเวลาในระหว่างการบำรุงรักษา