IR Yarı İletken Isıtıcılarında Doğru Sıcaklık Ayarlaması
Eğer yarı iletken üretim tesislerindeki karbon emisyonlarını azaltmak istiyorsak, eski tip dirençli ısıtıcılara bağımlı kalmaktan vazgeçmeliyiz. Bunlar çok yavaş çalışıyorlar. Bu yüzden infrared (IR) lamba sistemlerini kullanmaya başladık; çünkü bu sistemler hedef sıcaklığa çok daha hızlı ulaşıyor ve neredeyse hiç enerji israf etmiyor.
Ancak bir sorun var: Eğer wafleri yanırtmadan bu işlemi yapmak istiyorsanız, IR kaynağının ne kadar hızlı ısındığını takip edebilecek bir termokupluya ihtiyacınız var.
Geri bildirim döngüsündeki zorluklar
IR lambalar anında büyük miktarda ısı üretir. Eğer termokuplunuz yavaş tepki verirse, sensör henüz farkına varmadan hedef sıcaklığa ulaşmış olursunuz. İşte bu durumda wafler yanar. Bunu engellemek için yüksek kaliteli Type K veya N tipi termokupullar kullanıyoruz. Bunlar, gücü ayarlamak için PID kontrol cihazlarına gerçek zamanlı veriler sağlar. Böylece sıcaklık değerleri sürekli olarak değişmez.
Çevresel faktörlerle başa çıkma
Temiz odalarda gaz sızıntıları büyük bir sorundur. Küçük bir sızıntı bile tüm ürünleri bozar. Bu yüzden mineral yalıtımlı kılıflar kullanıyoruz; bu sayede her şey sıkıca kapalı kalır. Ayrıca probun yerleştirilmesi de önemlidir. Probu rastgele bir yere yerleştiremezsiniz; probun asıl ölçmesi gereken şey waflerin yüzeyidir, etrafındaki hava veya lambadan gelen ısı değil. Yüksek voltajlı hatlardan gelen sinyal gürültülerinden kaçınabilmek için hassas mekanik ayarlamalar gereklidir.
Tercihler arasındaki denge
İşin zor kısmı şudur: Hız genellikle bir bedel karşılığında elde edilir. Daha ince bir kılıf, probun daha hızlı tepki vermesini sağlar. Harika, değil mi? Ama tam olarak öyle değil. Bu ince problar yüksek sıcaklık koşullarında zarar görür ve daha hızlı bozulurlar. Aslında sensörün ne kadar hızlı tepki vermesi gerektiği ile ne sıklıkta değiştirilmesi gerektiği arasında bir denge kurmanız gerekir. Eğer milisaniye hızında tepki zamanları istiyorsanız, sensörleri daha sık değiştirmeye hazır olmalısınız.
Peki avantajı nedir? Doğru şekilde yapıldığında fabrikanız çok daha çevre dostu hale gelir. Tüm odayı ısıtmak yerine sadece iş parçasını ısıtırsınız. Bu da her waft için harcanan enerji miktarını azaltır ve karbonsuz hedeflere ulaşmayı mümkün kılar.