Üretim alanında, fotoresistin ısıtılması işlemi esas olarak termal kontrolle ilgilidir. Yarım derecelik bir sapma bile CD’nin birliğini bozar; düzensiz ısıtma ise üretim hızını olumsuz etkiler. Biz de tam da bu durumları göz önünde bulundurarak ayarlanabilir sıcaklık sağlayan yarı iletken ısıtıcı lambalar geliştirdik. Böylece, waferin termal durumu konusunda herhangi bir sapma olmadan istikrarlı ve ayarlanabilir bir ısı elde edilir.
İç kısımda önemli olanlar
Kuarzt kapsül içinde çalışan kısa dalgalı halojen ısıtıcı kullanılır. Hızlı ve temiz bir şekilde ısıtma yapar ve uzun süre boyunca stabil kalır. Fotoresistin ısıtılması sırasındaki sıcaklık kontrolü oldukça hassastır ve waferin sıcaklığı ±0,1°C aralığında tutulur. Işık şiddeti pürüzsüz olduğundan, yumuşak veya sert ısıtma işlemleri için uygun hızlar ayarlanabilir. Bu sistem, Class 1–100 temiz odalarında sorunsuz şekilde çalışır ve çalışırken hiçbir parçacık üretmez. Güvenilirliği 24/7’dir; sahadaki cihazlar 5.000 saatten fazla çalışırken %5’den az bir verim kaybı yaşar.
Neden üretim hatlarına uygundur?
İster özel bir ısıtma modülü olarak kullanın, ister mevcut kaplama/ısıtma platformlarına entegre edin, bu lamba geleneksel ısıtıcıların yerini alır ve uluslararası yarı iletken ekipman standartlarına uyar. Talep üzerine ayarlanabilen ışık şiddeti sayesinde daha iyi işlem tekrarlanabilirliği, daha hassas boyut kontrolü ve daha düşük enerji tüketimi elde edilir. Termal tepki hızlı olduğundan işlem süreleri kısalar ve planlanmayan duruşlar azalır. Kapsül serin kalır ve sık sık açılıp kapatılmasına rağmen bozulmaz.
Pratik detaylar
Lamba standart alet yerleşim alanlarına uygun şekilde monte edilebilir. Ancak belirlenen düzeyde birlik sağlamak için montaj sırasında substratla olan termal bağlantının doğru olup olmadığını kontrol etmek gerekir. En iyi sonuçlar için lambanın yönlendirmesi ve reflektörün geometrisi ısıtma plakasıyla uyumlu hale getirilmelidir. Ayrıca güç kaynağının tam ayarlama aralığını karşılayabildiğinden emin olunmalıdır. Lamba, belirlenen sıcaklık ve voltaj toleransları içinde çalışır; bu değerlerin dışına çıkılırsa lambanın ömrü kısalar ve termal stabilite kaybolur.