300 mm hatlarında, yıkama işlemi sırasında oluşan termal dalgalanmalar, bir sonraki pişirme işleminden önce fotoresist profilinizi bozabilir. Bu değişkenlikleri ortadan kaldırmak için su geçirmez bir kızılötesi lamba geliştirdik. Bu lamba, DI suyu kullanılan süreçler boyunca wafer yüzeyini sabit bir sıcaklıkta tutar; böylece kritik boyutlar belirlenen standartlarda kalır.
Teknik açıdan önemli olanlar:
Lamba, kısa dalga boylu kızılötesi bölgede çalışır ve suyla ve silikonla etkili bir şekilde etkileşime girerek hızlı ve yüzey odaklı ısıtma sağlar. Kuvars kaplaması ve IP67 sınıfında koruma mekanizması sayesinde, 1–100 sınıfı temiz oda koşullarında kullanılabilir; gaz salınımı veya parçacık artışı olmaz. Aydınlatılan bölgede wafer düzeyindeki uyumluluk ±0,1°C civarında kalır ve parti başına tekrarlanabilirlik de sabit kalır.
Kontrol, lambanın kendisindeki kapalı döngü geri bildirim sistemiyle sağlanır. Bu sayede, hat voltajında değişiklikler olsa bile çıktı stabil kalır.
Neden yıkama istasyonlarında işe yarar?
Yıkama istasyonlarında termal enerji kolayca tükenir. Bu lamba sayesinde yıkama sıcaklığı artık ekstra pişirme işlemlerine ihtiyaç duymadan kontrol altına alınır. Böylece daha az yeniden işleme gerekliliği olur, atık miktarı azalır ve litografideki boyut kontrolü daha stabil hale gelir.
Isıtma, talep üzerine ve lokal olarak gerçekleşir; bu sayede büyük miktardaki suyun ısınması için enerji israf edilmez. Güvenilirliği sahada kanıtlanmıştır: Cihazlar 5.000 saatten fazla çalışabilir ve çıktı kaybı %5’in altındadır. Bu da planlanmayan duruş sürelerini azaltır ve yedek parça stoklarını düşürür.
Önceden bilmeniz gerekenler:
Lamba, yıkama bölgesinin üstüne dikey veya yatay olarak monte edilmek üzere tasarlanmıştır. Ayrıca, ıslak çalışma alanına uygun özel bir güç ve kontrol arayüzüne ihtiyaç vardır. Wafer yolunda gölge oluşmaması için uygun mesafe bırakılmalıdır.
Termal ayar noktasına ulaşmak için kısa bir ısınma süresi gereklidir; bu nedenle iş akışına entegrasyonunu iyi planlamalısınız ki boşa zaman harcanmasın.