Üretim tesislerinde, termal kontrol parametreleri aslında fırınlamada belirlenir. Yumuşak veya sert fırınlama işlemlerinde meydana gelen 2°C’lik bir değişiklik, bileşenlerin boyutlarını etkiler; eğer işlem sırasında parçacıklar ortaya çıkarsa, ürünlerin kalitesi bozulur. Geleneksel ısıtma sistemleri, ileri düzey işlemlerin gerektirdiği yüksek hassasiyeti sağlayamaz ve bu durumda hız ile kontrol arasında bir seçim yapmak zorunda kalılır.
Asıl önemli olan şeyler Orta dalga kızılötesi ısıtıcılar, enerjiyi doğrudan waferlere aktarır; bu sayede hızlı bir termal tepki elde edilir ve stabil bir kontrol sağlanır. Waferlerin homojenliğini ±0,1°C civarında tutuyoruz ve ayar noktaları da her seferinde 0,2°C içinde sabit kalıyor.
Sistem, düşük gaz salınımı yapan malzemeler ve parçacıkların sisteme girmesini engelleyen bir tasarım sayesinde temiz oda koşullarına uygundur. Fırınleme sırasında parçacık sayısı genellikle 0,3 parça/cm²’nin altındadır. Sistem, pilot ve seri üretim hatlarında 24/7 çalışır ve binlerce döngü boyunca termal profil stabil kalır.
Neden bu yöntem bizim ihtiyaçlarımıza uygun? Litografi sistemlerinde bu ısıtıcılar, fırınleme süresini kısaltırken aynı zamanda termal profili de bozmaz. Böylece verimlilik artar ve fotoresist parametreleri belirlenen standartlar içinde kalır. Geniş spektrumlu ısıtıcılara kıyasla enerji tüketimi daha düşüktür; çünkü enerji, işlem için özel olarak ayarlanmıştır ve gereksiz ısıtma olmaz.
Başlangıçta dikkat edilmesi gerekenler Montaj sırasında ısıtıcının yerleşiminin waferle uyumlu olması ve kızılötesi ışının doğru yönde gitmesi gerekmektedir. Temiz oda koşullarına uygun güç ve kontrol bağlantıları kullanılmalıdır. Ayrıca, odanın duvarlarının termal özellikleri de göz önünde bulundurulmalıdır.
Orta dalga ısıtıcılar waferler için oldukça etkilidir; ancak yüksek yansıtıcı yüzeyler için pek uygun değildir. Bu tür uygulamalarda özel bir ısıtıcı düzeni veya küçük bir ayar değişikliği gerekebilir. Ürünü piyasaya sürmeden önce termal profil testleri yapılmalı ve ardından kalibrasyon sabitlenmelidir.