На виробничій лінії процес висушування фотолегувального матеріалу не пов’язаний із комфортом – це питання температурного режиму, який не можна ігнорувати. Навіть незначна зміна температури на 0,5°C може призвести до порушення контролю за критичними розмірами деталей, а отже, і до зниження якості продукції. Ми створили наші інфрачервоні нагрівальні модулі так, щоб вони дозволяли дотримуватися цього температурного режиму у кожному циклі обробки.
Ми використовуємо короткохвильові інфрачервоні випромінювачі, які працюють через запечатаний оптичний шлях, у складі якого переважає кварц. Це забезпечує швидке нагрівання з мінімальною тепловою інерцією. У активній зоні однорідність температури на поверхні пластини становить ±0,1°C, а точність повторюваності процесу між серіями виробництва – ±0,5°C. Стабілізація температури відбувається за кілька секунд, тож процес залишається прогнозованим навіть під час руху лінії. Модуль підходить для використання в чистих кімнатах класу 1–100; його конструкція зменшує кількість частинок, які можуть утворитися під час процесу висушування.
Це важливо у процесі літографії: саме процес висушування визначає характеристики фотолегувального матеріалу. Стабілізація температури на поверхні пластини зменшує чутливість до відбиття світла та покращує однорідність параметрів поверхні. Такий же принцип застосовується під час чищення та сушіння пластин – контрольоване та рівномірне нагрівання зменшує ефекти поверхневого натягу та допомагає уникнути деформації візерунків на поверхні. Використання енергії зменшується, оскільки випромінювачі нагрівають лише сам об’єкт обробки, а не всю камеру.
Надійність системи залежить від часу її роботи. Система працює 24/7 за регулярними правилами технічного обслуговування, без несподіваних зупинок.
На що слід звернути увагу під час інтеграції
Емісійні властивості різних матеріалів та металевих шарів відрізняються, тож контроль температури потрібно налаштовувати відповідно до самого матеріалу, а не лише до обладнання. Модуль є компактним, але все одно необхідно дотримуватися правил термічного захисту – інакше може виникнути паразитне нагрівання сусідніх компонентів.
Необхідно провести короткий тестовий запуск, щоб налаштувати параметри процесу. Після цього процес залишається прогнозованим та стабільним.