На лінії довжиною 300 мм ці температурні коливання, спричинені процесом промивання, можуть змінити параметри фоторезисту ще до наступного процесу випалювання. Ми створили водонепроникну інфрачервону лампу для усунення цих коливань. Вона підтримує постійну температуру поверхні чіпа під час процедури промивання, тож критичні розміри чіпа залишаються в межах допусків.
Що є важливим з технічної точки зору
Лампа працює в діапазоні коротковхвильового інфрачервоного світла, що дозволяє ефективно нагрівати воду та кремній. Кварцовий корпус та герметичний корпус класу IP67 розроблені для роботи в чистих приміщеннях класу 1–100 – без витоків газів та частинок. У зоні освітлення однорідність температури на поверхні чіпа становить ±0,1°C, а повторюваність результатів залишається стабільною.
Контроль здійснюється через замкнений контур зворотного зв’язку, що забезпечує стабільну роботу лампи навіть при змінах напруги.
Чому це ефективно на станції промивання
Саме на станціях промивання температурні коливання найбільше впливають на якість продукції. Завдяки цій лампі не потрібно додатково компенсувати температурні зміни під час процесу випалювання. Це також дозволяє скоротити кількість відходів та забезпечити стабільний контроль розмірів чіпів під час літографії.
Нагрів відбувається точково, тож не витрачається енергія на нагрів великої кількості води. Надійність лампи підтверджена практикою: пристрої працюють понад 5 000 годин із втратою потужності менше 5%, що зменшує час простою та необхідні запаси.
Що потрібно знати заздалегідь
Лампу можна встановлювати вертикально чи горизонтально над зоною промивання. Вона потребує окремого джерела живлення та інтерфейсу керування, які повинні відповідати характеристикам станції промивання.Необхідно також забезпечити достатню відстань до шляху проходження чіпа, щоб уникнути тіней на його поверхні.
Для досягнення необхідної температури потрібен короткий час підготовки – потрібно правильно спланувати процес, щоб уникнути зайвого часу очікування.