پیکیجنگ لائن پر، بیکنگ کے دوران درجہ حرارت میں صرف 0.3 ڈگری سیلسیس کا فرق بھی اس بات کا سبب بن سکتا ہے کہ اچھی کوالٹی والے مینی ایل ای ڈی چپس بیکار ہو جائیں؛ یعنی پکسلز خراب ہو جاتے ہیں، چپس الگ ہو جاتی ہیں، اور پروڈکشن میں نقصان ہوتا ہے۔ یہ مسائل وہاں پیدا ہوتے ہیں جہاں ان کا ہونا بالکل بھی قابل قبول نہیں ہے، یعنی ریورک ورک کے مرحلے میں۔ ہر بار، درجہ حرارت کو بالکل درست جگہ پر رکھنا ضروری ہے۔
تکنیکی لحاظ سے کیا اہم ہے؟
ہم نے اس لیمپ کو NIR انفرا ریڈ حرارتی نظام کے ذریعے تیار کیا ہے؛ اس نظام میں درجہ حرارت کی تقسیم بالکل یکساں ہے۔ چپ کی سطح پر درجہ حرارت کی تقسیم بالکل درست ہے، کہیں بھی گرمی کے مقامات یا سرد علاقے نہیں ہیں۔
کنٹرول لوپ میں تکراریت کو یقینی بنایا گیا ہے؛ سیٹ پوائنٹس مستقل رہتے ہیں، اور سسٹم ہر بار ایک ہی درجہ حرارت کو برقرار رکھتا ہے۔ اس سے فوٹوریزسٹ پر یکساں حرارتی عمل ہوتا ہے؛ نہ تو زیادہ حرارت لگتی ہے، نہ ہی کم، جس سے پروڈکشن میں خطرہ پیدا نہیں ہوتا۔
اس عمل میں یہ لیمپ کیوں کارگر ہے؟
مینی ایل ای ڈی چپوں کی پیکیجنگ کے لئے صاف، کنٹرول شدہ حرارتی عمل ضروری ہے؛ یہ کام کلاس 1-100 کے صاف کمروں میں ہی انجام دیا جاسکتا ہے۔ یہ لیمپ کام کرتے وقت کوئی ذرہ پیدا نہیں کرتا، اس لئے ویفر پر کسی قسم کی آلودگی کا خطرہ نہیں ہے، اور پیکیج کی سالمیت برقرار رہتی ہے۔
یہ لیمپ 24/7 کام کرنے کے لئے موزوں ہے؛ اس سے ہائی-تھروپٹ لیتھوگرافی اور پیکیجنگ کے عمل میں باہمی تعلقات یکساں رہتے ہیں، جبکہ توانائی کی کھپت بھی مناسب حد میں رہتی ہے۔ اس کے نتیجے میں کریٹیکل ڈائمینشنز پر بہتر کنٹرول حاصل ہوتا ہے، ریورک ورک کی ضرورت کم ہوتی ہے، اور عمل کے وقت کو منصوبہ بند کیا جاسکتا ہے۔
عملی تفصیلات:
NIR انفرا ریڈ حرارتی نظام تیز اور درستگی سے کام کرتا ہے، لیکن یہ سبسٹریٹس کی اخراجی صلاحیتوں اور نظر کی سمت کے لحاظ سے حساس ہے۔ لیمپ کی پوزیشن اور حرارتی عمل کو چپ کی ساخت کے مطابق منصوبہ بند کرنا ضروری ہے۔
یقین کریں کہ لیمپ کی تنصیب اور حرارتی عزلت آپ کے آلات کے مطابق ہے۔ جب یہ مناسب طریقے سے ترتیب دیا جاتا ہے، تو عمل کے نتائج زیادہ درست ہوتے ہیں، اور تکراریت بھی بہتر ہوتی ہے۔