MEMS ویفروں کو بغیر کسی پریشانی کے خشک کرنا
اگر آپ نے کبھی MEMS کی تیاری میں کام کیا ہے، تو آپ جانتے ہیں کہ ویفروں کو خشک کرنا کتنا مشکل کام ہے۔ یہ ایک بہت بڑی رکاوٹ ہے۔ ضروری ہے کہ مائع مکمل طور پر ختم ہو جائے، اور اس کے ساتھ ہی کوئی باقیات بھی نہ رہے۔
ہمارا طریقہ کیا ہے؟ ہم شارٹ-ویو IR لیمپوں کا استعمال کرتے ہیں تاکہ ویفر کی سطح پر براہِ راست حرارت پہنچ سکے۔ یہ دراصل ایک قسم کی فلیش-ایواپوریشن تکنیک ہے۔ مقصد یہ ہے کہ ویفر کو مکمل طور پر خشک کیا جائے، لیکن پورے آلے کے اندر گرمی نہ پیدا ہو۔
کیوں ڈائریکشنل ہیٹنگ کارگر ہے؟
زیادہ تر ہیٹرز کنویکشن کے ذریعے کام کرتے ہیں۔ یہ ہوا کو گرم کرتے ہیں، اور پھر وہ ہوا ویفر کو گرم کرتی ہے۔ یہ عمل سست ہے، غیرموثر ہے، اور اس سے “گرم دیواریں” بھی پیدا ہوتی ہیں۔ کوئی بھی ایسی مشین کے ساتھ کام نہیں کرنا چاہتا جس کے باہری حصے سے خطرہ پیدا ہو۔
اسی لیے ہم نے ڈائریکشنل IR ہیٹنگ کا استعمال کیا۔
IR تابکاری سیدھی لکیر میں سفر کرتی ہے۔ اسے ہوا کی کوئی پروا نہیں ہے؛ یہ صرف ہدف تک پہنچنا چاہتی ہے۔ کوارٹز کے آویزوں اور مناسب ریفلیکٹروں کے ذریعے، ہم اس توانائی کو براہِ راست ویفر پر مرکوز کر سکتے ہیں۔ نتیجے کے طور پر، آلے کا اندرونی حصہ ٹھنڈا رہتا ہے، اور حرارت صرف ویفر پر ہی رہتی ہے، نہ کہ آلے کے باہری حصے پر۔
توانائی، حفاظت، اور برقی مسائل
یہ اعلیٰ واٹیج والے IR لیمپ بہت طاقتور ہیں۔ اگر آپ تیز رفتار سے ویفروں کو خشک کرنا چاہتے ہیں، تو آپ کو اس قسم کی توانائی کی ضرورت ہے۔ لیکن یہ آپ کے برقی نظام کے لئے ایک مشکل ہو سکتا ہے۔ اگر آپ اعلیٰ وولٹیج والے لیمپ استعمال کرتے ہیں، تو آپ کو یقین کرنا ہوگا کہ آپ کا برقی نظام اس بوجھ کو سنبھال سکتا ہے۔ ورنہ، آپ کو کسی چیز کے جلنے کا خطرہ ہے۔
ہم اس بات پر بھی توجہ دیتے ہیں کہ تابکاری کی شعاعیں بے ترتیب طریقے سے نہ پھیلیں۔ یہ حفاظت کے لئے ضروری ہے۔ آپ کو یہ یقین کرنا ہوگا کہ آپ آلے کے کنارے کو چھو سکتے ہیں، بغیر کسی خطرے کے، حتیٰ کہ جب ویفر کا درجہ حرارت 150°C ہو۔
مشکلات (کیوں کہ ہمیشہ کوئی نہ کوئی مشکل ہوتی ہے)
ڈائریکشنل ہیٹنگ کوئی جادو کی چھڑی نہیں ہے۔
چونکہ شعاعیں بہت شدید ہوتی ہیں، اس لئے اگر ویفر صحیح جگہ پر نہ ہو، تو یہ مقامی طور پر گرمی پیدا کر سکتی ہیں۔ آپ کو فوکل لمبائی کے معاملے میں بہت احتیاط کرنی ہوگی۔
اگر لیمپ بہت قریب ہو، تو ویفر بگڑ سکتا ہے۔ اگر لیمپ بہت دور ہو، تو ویفر کو خشک کرنے میں وقت لگے گا، جس سے آپ کی پیداواری صلاحیت متاثر ہوگی۔ یہ سب کچھ اس بات پر منحصر ہے کہ آپ کس طرح رفتار اور حفاظت کے درمیان توازن قائم کرتے ہیں۔