فیکٹری میں، صفائی کے بعد ایک ہی پانی کا نشان بھی ویفر کو تباہ کرنے کے لئے کافی ہے۔ صفائی کے بعد ویفر کو خشک کرنے کا عمل کوئی آرام کا وقت نہیں ہے؛ بلکہ یہ ایک اہم عمل ہے۔ ہم نے اپنے ویفر خشک کرنے والے لیمپوں کو ایسے ڈیزائن کیا ہے کہ وہ صفائی کے بعد فوراً ہی درکار حرارت فراہم کریں، بالکل اسی جگہ جہاں عمل انجام دیا جاتا ہے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہم کوارٹز لیمپوں کے ذریعے مختصر-لہر اور درمیانی-لہر کی انفراریڈ شعاعوں کا استعمال کرکے ویفر کو خشک کرتے ہیں۔ مقصد تیز رفتار، کنٹرولڈ حرارت فراہم کرنا ہے، تاکہ فوٹوریزسٹ کو نقصان نہ پہنچے۔ ویفر پر درجہ حرارت کی درستگی ±0.1°C کے اندر رہتی ہے، اور یکسانیت برقرار رہتی ہے، تاکہ اہم ابعاد میں کوئی تغیر نہ آئے۔ یہ سسٹم خودبخود صاف رہتا ہے؛ کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا، اور یہ کلاس 1–100 کے صاف کمروں میں بھی استعمال کیا جاسکتا ہے۔ اس سسٹم کی استحکام 5,000 گھنٹوں سے زیادہ رہتی ہے، اور درجہ حرارت میں 5% سے کم کمی ہوتی ہے، لہذا اسے 24/7 چلایا جاسکتا ہے۔
واقعی فیکٹریوں میں اس کا استعمال کیوں کیا جاتا ہے؟
صفائی کے بعد، ویفر میں کوئی باقی نمی نہیں ہونی چاہیے، اور نہ ہی کوئی نیا آلودگی ہونی چاہیے۔ ہمارے لیمپ، ویفر سے نمی کو جلدی ہی ختم کرتے ہیں، جبکہ فوٹوریزسٹ کو برقرار رکھتے ہیں۔ اس طرح، چکر کا وقت کم ہو جاتا ہے، پیداوار میں کمی نہیں ہوتی، ہر بیچ میں استعمال ہونے والی توانائی کم ہوتی ہے، اور لیمپوں کی تبدیلی کی ضرورت بھی کم ہوتی ہے۔ حرارت کا کنٹرول برقرار رہتا ہے، اس لئے عمل میں کوئی خرابی نہیں آتی۔
عملی تفصیلات:
ان لیمپوں کے لئے مناسب فکسچر اور صاف بجلی ضروری ہے۔ براہ کرم یقین کریں کہ وولٹیج اور کنکٹر کی سازگاری، آپ کے ہوسٹ ٹریک یا کوٹر/بیک پلیٹ فارم کے مطابق ہے۔ سپیکٹرم اور درجہ حرارت کو استوار کرنے کے لئے تھوڑا وقت درکار ہے۔ لیمپ کو ویفر کے راستے پر مناسب جگہ پر رکھیں، اور برقراری کے دوران لیمپ کی کھڑکی کو صاف رکھیں۔